製品情報

• 半導体デバイス製造装置
• ストレージデバイス製造装置
• 電子部品製造装置
  研究開発・小規模生産装置
• パネルデバイス製造装置
• 真空コンポーネント
  • ポンプ
  • 四重極型質量分析計
    • 四重極型質量分析計（トランスデューサタイプ）
      M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM
    • 四重極型質量分析計（高速測定／高感度測定）
      M-401QA-MU/G
    • コンパクト型ガス分析システム Dシリーズ
      M-101/201/400GA-D シリーズ
  • 真空計
  • リークディテクタ
  • 蒸着制御機器
  • 配管部品・補助材料
  • バルブ
  • 導入機
  • E型電子銃
  • 製品データ
  • 真空機器総合カタログ