キヤノンアネルバはグリスベアリング式タ−ボモレキュラポンプシリ−ズの販売を開始しました。
アルカテル社のターボ分子ポンプはセラミックボ−ルベアリングを採用したグリス潤滑式TMPで、取付方向が任意で使い勝手に優れた、小型・高性能なTMPシリ−ズです。
独自の翼設計技術に裏付けられ、27,000rpmという低回転速度で小型TMPを実現、ベアリングのセラミックボ−ル化と相まって高い信頼性を達成しています。
5サイズを揃えた通常型のタ−ボモレキュラポンプ（ATP）シリ−ズ、高い圧力領域での排気特性に優れたモレキュラドラッグポンプ（MDP）シリ−ズ、超小型で非常に優れた到達圧力性能を有するミニチュア・ハイブリッド型ポンプ（ATH20/40）等、幅広いラインナップを揃えました。
特長
- 高信頼性、堅牢性 セラミックボ−ルベアリングの採用と低回転数（27,000rpm）運転の実現で、高い信頼性を誇ります。
- 優れたメンテナンス性専用シリンジの使用で、現場でも容易にグリス補充が可能です。
- 取付け方向任意 グリス潤滑ベアリングの採用で取付方向が任意にでき、システムへの組込みが容易です。
- 高機能、取扱い容易な新世代制御電源（ACTシリ−ズ） RS232C/RS485インタ−フェ−スを備え、故障検出や保守警報機能など高度なモニタリング機能と充実したリモ−ト制御機能を備え、幅広い装置システム側のニ−ズに柔軟に対応できます。 また、スタンバイモ−ドを備え、ベアリングの寿命アップに効果的です。
- 世界最小のミニチュア・ハイブリッドTMP（ATH20/40） 水素に対して2×107の高圧縮比を有し、1×10-8Paの到達圧力を実現します。 また、通常の磁気軸受型TMPに匹敵する低ノイズ・低振動レベルを達成しています。 更に、ポンプの回転速度を調整可能で1台のポンプで幅広い排気条件に対応できます。
