長年の研究と最新の技術により開発・製品化されたもので、お客さまのすべてのニーズにお応えできるように、低真空から超高真空まで、各種のポンプならびに関連部品を取り揃えております。

TRISCROLL スクロールドライポンプ(バリアン社製品)

水分凝固による信頼性の低下という問題を解決。容易なメンテナンス。

SH110 小型ドライスクロールポンプ(バリアン社製品)

より経済的にクリーンな真空。

ドライポンプ(樫山工業社製品)

クリーンからハーシュプロセスまで対応。

POWER ^Eco シリーズクライオポンプ

省エネ型クライオポンプ POWER ^Eco シリーズ

世界最高の省エネを実現しました。

   30インチクライオポンプ (436KB)

大口径30インチ。2台の冷凍機を1台のコンプレッサーで運転可能。
省エネ・ランニングコスト削減に貢献します。

イオンポンプ・ノーブルポンプ

油などの有機物を一切使用していないため、完全にオイルフリーな超高真空が得られます。

エクセルポンプ

イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し、XHVの達成を可能にした小型軽量ポンプです。

小型イオンポンプ制御装置

フェイル・セーフ・システムで設計した安全性の高い、高真空・超高真空領域で運転されるイオンポンプ専用制御機です。

  粗引きライン用低温トラップ(インライントラップ) (780KB)

真空排気ラインの水分や油分除去に最適。

   ベイシックタイプ 粗引きライン用低温トラップ/空冷冷凍機モジュール (648KB)

シンプルでコストパフォーマンスを高めたトラップ/モジュールです。