製品情報

長年培った真空技術と薄膜技術をベースに開発した各種装置、各種真空コンポーネントをご提供いたします。

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  半導体デバイス製造装置

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  ストレージデバイス製造装置

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  電子部品製造装置
  研究開発・小規模生産装置

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  パネルデバイス製造装置

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  真空コンポーネント