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キヤノンアネルバ株式会社

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製品情報

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半導体デバイス製造装置

半導体は今やあらゆる製品に利用され、情報化社会に欠かすことのできない基本デバイスとなっています。
キヤノンアネルバは、半導体製造ラインに用いられる信頼性の高いスパッタリング装置を開発・製造しています。
高集積化を支えるナノレベル領域において、スパッタリングによる成膜工程は大変重要な役割を担っています。

メタルゲート形成用スパッタリング装置

FC7100 メタルゲート形成用スパッタリング装置

メモリ配線用スパッタリング装置

IC7500 メモリ配線用スパッタリング装置(φ300mm対応)

実装用スパッタリング装置

IC7400 実装用スパッタリング装置(φ300mm対応)

表面反応エピタキシ装置

FC7000(φ200mm対応)/ FC7200(φ300mm対応)表面反応エピタキシ装置

MRAM用スパッタリング装置

EC7800 MRAM用スパッタリング装置(φ300mm対応)

MRAM用ドライ加工
~保護膜形成一貫装置

EC8000 MRAM用ドライ加工~保護膜形成一貫装置

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