環境配慮型製品

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真空装置の省エネルギーに貢献するクライオポンプシステム

クライオポンプは、低温部にガス分子を凍りつかせて排気する真空ポンプです。このシステムでは電力のほとんどはコンプレッサで消費されるため、コンプレッサの運転効率化が省エネルギーの鍵となります。

従来のシステムではコンプレッサは常時100%の出力で運転され、コンプレッサの台数で消費電力が決まっていました。POWER Eco 3.0 クライオポンプシステムは、クライオポンプへの入熱に応じてコンプレッサ出力を制御すると共に、コンプレッサの台数も削減可能なシステムです。

真空装置の省エネルギーに貢献するクライオポンプシステム

マルチチャンバー装置におけるクライオポンプの省エネルギー効果

POWER Eco 3.0 クライオポンプシステムをマルチチャンバー装置に搭載することにより、 従来のシステムに比べ大きな省エネルギー効果が得られます。
特に処理待機時には、消費電力49%低減(従来比)を達成しています。

マルチチャンバー装置におけるクライオポンプの省エネルギー効果

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