E型電子銃(真空部品)

E型電子銃

当社のE型電子銃は1964年に実験蒸着電子銃として発売してから今日まで多くの販売実績を持っています。この間に新製品の開発と改良を繰り返し、今では電子工業、光学工業分野の実験から生産まで、操作性、信頼性、安全性の向上した電子ビーム蒸着源としてご利用いただいております。

E型電子銃

電子ビーム蒸着の特長

  1. 大きいパワー密度が得られるためALから高融点金属のW、Ta、Mo等のほとんどの金属、酸化物などの蒸着が可能
  2. 水冷型銅ルツボを使用していますので、蒸着試料の純度が保たれ、不純物の少ない蒸着膜を製膜
  3. 抵抗加熱式蒸発源と比較し、使用部分の消耗は少ない

E型電子銃シリーズ構成

用途により最適なE型電子銃が選択いただける様に以下のシリーズを取り揃えています。

名称 特長 用途 仕様
生産
装置用
研究用 超高真空
装置対応
ルツボ数 ルツボ容量
(mL)
ベーク温度
(MAX)
ビーム
偏向角
ビーム
スイープ
最大投入
電力
フランジ
マウント
タイプ
980-7100
(980-7102)
2kW単発
スイープ可能な超高真空蒸着用 × 1 1 200℃
(250℃)
220° ○(×) 2kW
980-7104
2kW3連
多層の超高真空蒸着用 × 3 1 250℃ 220° × 2kW  
980-7300
(980-7302)
3kW単発
スイープコイルを搭載し、パワーアップした超高真空蒸着用で超電導薄膜作成実験に最適 × 1 2.5 200℃
(250℃)
220° ○(×) 3kW
980-7401
3kW4元
4元同時蒸着可能超電導薄膜作成・実験に最適 × 4 3.8 200℃ 220° 3kW×4

注.( )内の980-7102、7302、7311はスイープコイル(スイープ機能)が付いていません。

カタログダウンロードPDF:9.79MB

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