回転導入機 磁気結合型・ベローズ式

回転導入機  磁気結合型・ベローズ式

真空中に取り付けた機器の回転運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超真空領域まで使用することが可能な回転導入機です。磁気結合型回転導入機とベローズ式回転導入機があります。

ベローズ式回転導入機
磁気結合型回転導入機

特長

  1. 大きな伝達トルク
    3kg・cmから最高100kg・cmの高トルクタイプのものまで各種ご用途に応じて選択可
  2. ベークアウト可能
    真空ブレージング接合を採用し、エラストマーシールは一切使用しておりませんので、超高真空系に最適
  3. モータ駆動可能
    手動とモータの2つの駆動方式が可能(954-7630は手動駆動のみ)

仕様

磁気結合型回転導入機

型名 954-7603 954-7604 954-7605 954-7606 954-7607
駆動方式 磁気結合
接続フランジ φ34ICF φ70ICF
駆動軸径 φ6 φ8 φ12
駆動方式 手動及びモータ駆動
伝達
トルク
手動 0.5N・m 1.6N・m 1.6N・m 5.9N・m 9.8N・m
モータ
駆動
0.44N・m 1.42N・m 1.42N・m 5.3N・m 8.8N・m
許容回転数 500RPM
許容加熱温度 ※100℃ ※※100℃ ※※※100℃ ※※100℃
リーク量 1.3×10-11Pa・m3/sec以下
質量 0.72kg 2.6kg 2.5kg
磁気結合型回転導入機

※アウターロータ取除いた場合、※300℃、※※150℃、※※※400℃となります。
※また、加熱時は駆動しないでください。

ベローズ式回転導入機

型名 954-7620 954-7630 954-7640
駆動方式 ベローズ式
接続フランジ φ70ICF φ34ICF
駆動軸径 φ8 φ6
駆動方法 手動 モータ
駆動
手動 手動 モータ
駆動
伝達トルク 2N・m 1.2N・m 0.3N・m 1N・m 0.6N・m
許容加熱温度※ 200℃
許容回転数 100rpm 200rpm
リーク量 1.3×10-11Pa・m3/sec以下 1.3×10-11Pa・m3/sec以下
使用材料 本体:SUS-304
ベローズ:SUS-304
質量 1.15kg 0.33kg 0.74kg
用途 シャッタなどの手軽な回転導入に。 シャッタなどの手軽な回転導入に。 ミニICFポートを使いモータ駆動や高精度、高トルクの回転導入に。
ベローズ式回転導入機

※加熱時は駆動しないでください。

カタログダウンロードPDF:2.30MB

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