直線導入機(真空部品)

直線導入機

真空中に取り付けた機器の直線運動の導入に用い、圧力が10-8Pa以下の超高真空領域まで使用できます。

直線導入機

特長

  1. オールメタルなのでハードベークが可能で、超高真空系に最適
  2. 真空側と大気側とを、ベローズで完全に遮断したベローズ式直線導入機
  3. ベローズの伸縮を利用し真空内に直線運動を導入するため、操作中でのリークの心配不要

仕様

型名 名称 駆動方式 接続フランジ 直線運動量 許容最大推力 許容加熱温度 重量 バックラッシュ
954-7621 直線導入機 ベローズ直進運動 φ70ICF 20mm 196N 300℃ 0.6kg ±0.5mm以下
954-7622 直線導入機 φ70ICF 40mm 196N 300℃ 0.7kg
954-7623 ミニ直線導入機 φ34ICF 20mm 147N 300℃ 0.48kg
954-7626 ミニ直線導入機 φ34ICF 25mm 147N 200℃ 0.9kg ±0.3mm以下
954-7627 ミニ直線導入機 φ34ICF 40mm 147N 200℃ 1.1kg

その他共通仕様

  • リーク量:1.3×10-11Pa・m3/sec以下
カタログダウンロードPDF:1.67MB

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