R/L 導入機(真空部品)

R/L 導入機

本運動導入機は磁気結合型の導入機で回転導入機と直線導入機を兼ね備えており、回転及び直線運動を行なうことができます。

R/L 導入機

特長

  1. ロングストローク
    移動距離の長い試料等の搬送に最適
  2. 容易なメンテナンス
  3. 構造がシンプル

仕様

型名 954-7670 954-7671 954-7672 954-7673
駆動方式 磁気結合
接続フランジ φ70ICFフランジ
駆動方法 手動
直線運動量 250mm 500mm 750mm 1000mm
伝達トルク 0.4N・m
直進推力 29.4N
許容加熱温度 100℃
先端許容荷重 200g
リーク量 1.33×10-11Pa・m3/sec(1×10-10Torr・L/sec)以下
質量 2.3kg 2.6kg 2.9kg 3.2kg

外形寸法図

外形寸法図

型名 A寸法
954-7670 250
954-7671 500
954-7672 750
954-7673 1000
カタログダウンロードPDF:1.02MB

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