ヘリウムリークディテクタ(リークテスト)

ヘリウムリークディテクタ HELENシリーズ
  M-212LD(-D)/M-222LD(-D)/M-232LD

HELENシリーズは、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。

M-212LD(-D)

  • 各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適
  • 小型の各種真空部品のリークテスト
M-212LD(-D)

M-222LD

  • 各種真空装置の保守保全
  • 加速器等の大型の各種真空容器のリークテスト
  • リークシステムのアナライザ
M-222LD

M-222LD-D

  • クリーンルーム対応
  • オイルフリーリークテストが可能
  • 各種真空装置の保守保全
M-222LD-D

M-232LD

  • ガス供給システム、真空部品、配管部品のリークテスト
  • 自動車部品、空調冷凍機のリークテスト
  • 食品、医療品のパッケージのリークテスト
  • 水道、各種ガス配管のリークテスト
M-232LD

特長

  1. イージーオペレーション
    ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能
  2. 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
    10-12Pa・m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
  3. イージキャリー
    可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能
  4. 耐久性を重視した堅牢設計
    長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定が行えます。また、24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計

仕様

標準タイプ

型名 M-212LD M-212LD-D M-222LD M-222LD-D M-232LD
バージョン コンパクト コンパクトドライ ハイパワー ハイパワードライ スニファー
定量測定範囲
(Pa・m3/sec)
10-12~10-3 10-6~10-1
(10-2~105ppm)
インレットポート
排気速度
(対He、L/sec)
Gross
Mode
0.5 1.8 2.0 プローブ吸引速度
0.3Pa・m3/sec
Middle
Mode
2.0 1.0(Middle2)
4.0(Middle1)
2.0 2.0
Fine
Mode
7.0
インレットポート形状 NW25(ISO) スニファープローブ
メインポンプ 種類 ターボ分子ポンプ
排気速度 50L/sec 70L/sec 50L/sec
粗引きポンプ 種類 油回転ポンプ ダイヤフラムポンプ 油回転ポンプ スクロール
ドライポンプ
油回転ポンプ
排気速度 30L/min 15L/min 236L/min 250L/min 30L/min
+ダイヤラムポンプ
外部インターフェイス RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
表示器 4.1インチカラー液晶
スニファープローブ オプション
(型名:981-9370)
オプション
(別途相談)
オプション
(型名:981-9371)
標準
所要電力 AC 100-120V 8A AC 100-120V, 6.3A AC 100V 15A AC 100-120V 15A
AC 200-240V 10A
AC 100-120V 8A
外形寸法
(W×H×D)(mm)
435×487×364 462×867×715 435×470×363
質量(kg) 42 39 75 42

高感度タイプ・大容量粗引きタイプ

型名 M-222LD-H M-222LD-D-H M-222LD-D-H500
バージョン 高感度ハイパワー 高感度ハイパワードライ ハイパワードライ500
定量測定範囲
(Pa・m3/sec)
10-13~10-3 10-12~10-3
インレットポート
排気速度
(対He、L/sec)
Gross
Mode
1.8 2.0 2.0
Middle
Mode
4.0 4.0 4.0
Fine
Mode
7.0 7.0 7.0
インレットポート形状 NW25(ISO)
メインポンプ 種類 ターボ分子ポンプ
排気速度
(L/sec)
70
粗引きポンプ 種類 油回転ポンプ スクロール
ドライポンプ
マルチルーツ
ドライポンプ
排気速度
(L/min)
236 250 500
外部インターフェイス RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
表示器 4.1インチカラー液晶
スニファープローブ オプション
(型名:981-9371)
所要電力 AC 100V 15A AC 100-120V 15A
AC 200-240V 10A
AC 100-120V 8A
外形寸法
(W×H×D)(mm)
462×867×715
質量(kg) 75
対応 CEマーキング、RoHS(Category9) RoHS(Category9)

カタログダウンロードPDF:1.58MB


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