ヘリウムリークディテクタ(リークテスト)

ヘリウムリークディテクタ HELENシリーズ
  M-212LD(-D)/M-222LD(-D)/M-232LD

HELENシリーズは、小型、軽量、可搬性をコンセプトに開発したポータブルタイプのヘリウムリークディテクターです。

M-212LD(-D)

  • 各種真空装置の検査、フィールドサービスに最適
  • 小型の各種真空部品のリークテスト
M-212LD(-D)

M-222LD

  • 各種真空装置の保守保全
  • 加速器等の大型の各種真空容器のリークテスト
  • リークシステムのアナライザ
M-222LD

M-222LD-D

  • クリーンルーム対応
  • オイルフリーリークテストが可能
  • 各種真空装置の保守保全
M-222LD-D

M-232LD

  • ガス供給システム、真空部品、配管部品のリークテスト
  • 自動車部品、空調冷凍機のリークテスト
  • 食品、医療品のパッケージのリークテスト
  • 水道、各種ガス配管のリークテスト
M-232LD

特長

  1. イージーオペレーション
    ボタン操作1つで機器の立ち上げから測定までが可能
  2. 業界最高レベルの感度、安定性、応答性を実現
    10-12Pa・m3/sの高感度と長時間の使用に対しても高い安定性を実現
  3. イージキャリー
    可搬に便利な大型キャスタ、ハンドル等フィールドサービスを目的とした利用にも対応可能
  4. 耐久性を重視した堅牢設計
    長寿命タングステンフィラメントを採用することにより、長期間、高感度測定が行えます。また、24時間稼働のシステムへの搭載を前提に各部を堅牢な設計

仕様

型 名 M-212LD(-H)※1 M-212LD-D M-222LD(-H)※1 M-222LD-D(-H)※1 M-232LD
バージョン コンパクト コンパクトドライ ハイパワー ハイパワー&ドライ スニファ
定量測定範囲
(Pa・m3/s)
10-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-12~10-3 10-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-12~10-3
(-H:10-13~10-3
10-8~10-1
(10-2~105ppm)
インレットポート
排気速度(He)
(L/s)
0.5(Gross Mode) 0.2(Gross Mode) 1.8(Gross Mode) 2.0(Gross Mode) プローブ吸引速度
2.0(Middle Mode) 0.3(Middle1 Mode) 2.0(Middle Mode) 2.0(Middle Mode) 0.3Pa・m3/s
(5.0(-H:Fine Mode))  1.3(Middle2 Mode) (5.0(-H:Fine Mode)) (5.0(-H:Fine Mode))    
  3.0(Fine Mode)      
インレット
ポート形状
NW25(ISO) NW25(ISO) NW25(ISO) NW25(ISO)
メインポンプ ターボ分子ポンプ 50L/s
あら引きポンプ 油回転ポンプ 30L/min ダイヤフラムポンプ20L/min 油回転ポンプ142L/min※2 スクロールドライポンプ
250L/min>
油回転ポンプ30L/min
+ダイヤラムポンプ
外部
インターフェイス
RS-232C
Analog出力(2点)・標準 I/O
表 示 カラー液晶
スニファプローブ(オプション) 981-9370型 ※3 981-9371型 標準
所要電力※4 AC 100V 8A AC 100A-115V, 6.3A AC 100V-150V 15A AC 100V-150V  10A AC 100V 8A
外形寸法
(W×H×D)(mm)
435×487×363 462×867×715 435×487×363
質 量(kg) 42 39 75 42

※1):(-H)は高感度仕様の機器です。 ※2):オプションにて最大275L/Minの油回転ポンプに変更可能です。
※3):本機種でのご使用の場合は、別途ご相談ください。 ※4):ご注文時のご指定により、115V 200V 230Vの電圧対応をいたします。

カタログダウンロードPDF:0.94MB

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