蒸着制御器 IC 6(蒸着制御機器)

蒸着制御器  IC 6

IC6は、物理的蒸着用に設計されたクローズドループのプロセス制御器です。

この制御器は、半導体、電子部品製造及び光学機器のコーティング産業において製造、研究に使用することに最も適しています。

熱蒸着、スパッタリングプロセスによって蒸着される薄膜の蒸着レート及び膜厚をモニタあるいは制御します。設定する時間、膜厚、パワー及び必要とするレートを材質の特性に基づいて正確で再現性の良いプロセスで自動的に制御します。

蒸着制御器 IC 6

特長

  1. オートZ機能
    従来の蒸着制御器の欠点は、蒸着物質のZレシオ(弾性インピーダンス)がわからなければ正確に測定できない事でした。オートZ機能は、これらの問題をMODELOCK™を採用することで解決しました。
    この機能は同時蒸着や多層蒸着において、非常に効果を発揮します。
  2. オートチューニングコントロール機能
    蒸発源に対して従来の制御器は、チューニングする事が非常に困難でした。
    満足するような結果を得るには数時間を要する事もありました。
    IC6のオートチューニングコントロール機能は、これが可能です。
  3. 2元同時蒸着測定/制御対応(標準)
    2つのレイヤーの同時蒸着の場合、クロストーク(お互いの蒸発源からの物質が互いのセンサーに飛び込みによる干渉)補正機能ができます。
    最大6ソースからの同時蒸着制御ができます。この場合は、クロストーク補正機能は設定できません。

用途

  • 薄膜の蒸着レート及び膜厚をモニタ、制御

仕様

項   目 IC6(多層+同時)
計測 周波数測定範囲(MHz) 6.0~4.5
分解能(注1)
(6MHz時)
0.0035Hzまたは0.0043A
測定回数(Hz) 10
移動平均化処理(s) 0.1,0.4,4.0 ,10.0,20.0,30.0
表示 ディスプレー 7インチLCD
膜厚表示分解能(Å) 1
レート表示分解能(Å/s) 0.01(0~99.9A/s)
0.1(100~999A/s)
蒸着制御機能 マルチポイント制御
オートZ
同時蒸着 ○(最大6)
オートZ
オートチューニング
マルチポイント制御
ルツボ数 64
プロセスレシピと
データ管理
プロセスレイヤー数 200
マテリアルテーブル
またはフィルム
32
プロセス数 50
データロギング
ディスクドライブ ○(USB)
対応センサー シングル 8(注2)
デュアル 4
6連 8(注2)
12連 8(注2)
ソース制御出力 ソース数 最大6
電圧 0~±10V、0~±5V,0~±2.5V
レコーダ出力 0~+10V
I/O 入力数 TTL,14点標準(オプション14点)
出力数 リレー接点8点(オプション16点)
(接点定格:DC30V,2.5A)
(オプション:TTL出力14点)
リモート
コミュニケーション
RS232C 標準
Ethernet オプション
電源 100 / 120 / 220 / 240VAC
サイズ HxWxD(mm) 133 x 447.7 x 330
質量 10.5Kg
Windowsアプリケーションソフト ×

注1)材料密度=1.0、Zレシオ=1.0の場合、100msサンプル

注2)同時蒸着制御は最大6まで。 マルチポイント制御は最大8まで。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.41MB

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