蒸着制御器 XTC/3(蒸着制御機器)

蒸着制御器  XTC/3

シングル、マルチレイヤープロセス薄膜蒸着コントローラーに必要なすべての機能を1台の装置で実現しました。

XTC/3はModeLock技術を使用し、モードホイッピング防ぎ、高い蒸着精度を保証します。

また、実質的にレイヤー数に制限の無い多層薄膜の蒸着速度と膜厚の精密コントロールが可能となり、しかも設置が簡単で極めて高い信頼性を持つこの装置は生産性向上に大きく寄与します。

蒸着制御器 XTC/3

特長

  1. シングルレイヤ対応モデルとマルチレイア対応モデルをお選びできます。
  2. 特許を取得したModeLock技術がホイッピングに起因する膜厚誤差を防ぎます。
  3. INFICONのCrystal12、CrystalSixおよびデュアルセンサーにも対応し最高の生産性を実現します。
  4. マルチレーヤモデルであるXTM/3Mは99までのプロセス、999までのレイア数、32枚までのフィルム、さらにに2個のセンターと2種類の蒸着源をサポートします。
  5. シングルレイアモデルであるXTC/3Sは9枚までのフィルムと2個のセンサ、2種類の蒸着源をサポートします。蒸着制

用途

  • 薄膜の蒸着制御

仕様

項   目 XTC/3M(多層) XTC/3S(単層)
計測 周波数測定範囲(MHz) 6.0~5.0
分解能(注1)
(6MHz時)
0.028Hzまたは0.03A
測定回数(Hz) 4
移動平均化処理(s)
表示 ディスプレー 3.8インチLCD
膜厚表示分解能(Å) 1
レート表示分解能(Å/s) 0.1(0.0~99.9A/s)
1 (100~999A/s)
蒸着制御機能 マルチポイント制御 ×
オートZ ×
オートチューニング ×
同時蒸着 ×
オートZ ×
オートチューニング ×
マルチポイント制御 ×
ルツボ数 8
プロセスレシピと
データ管理
プロセスレイヤー数 999 1
マテリアルテーブル
またはフィルム
32 9
プロセス数 99 1
データロギング
ディスクドライブ ×
対応センサー シングル 2
デュアル 1
6連 2
12連 2
ソース制御出力 ソース数 2
電圧 0~±10V、0~±5V
レコーダ出力 0~+10V
I/O 入力数 8点
出力数 12点(接点定格:DC30V,2.5A)
ロジックステートメント ×
リモート
コミュニケーション
RS232C 標準
Ethernet オプション
電源 100~230VAC 
サイズ HxWxD(mm)  89 x 203 x 305ハーフラック
質量  2.7Kg
Windowsアプリケーションソフト XTC/3M or S Editor Software

注1)材料密度=1.0、Zレシオ=1.0の場合、100msサンプル

カタログダウンロードPDF:1.26MB

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