蒸着用膜厚コントローラ SQC310(蒸着制御機器)

蒸着用膜厚コントローラー  SQC310

蒸着用膜厚コントローラSQC-310は多層膜蒸着制御、SQC-310は同時蒸着制御まで幅広い用途に対応が可能な低価格でありながら多機能でコストパフォーマンスに優れた蒸着制御器です。

蒸着用膜厚コントローラー SQC310

特長

  1. 多層膜用途に大きなデータ保存数
    プロセス数100、レイヤー数1000、フィルムデータ50のデータ保存ができ、シーケンシャルな成膜用途に適しています。
    なお、同時蒸着成膜用途にはSQC310Cを用意しています。
  2. 充実したセンサー、ソース制御チャンネル数およびI/O点数
    標準タイプでは、センサー2ch、ソース制御2ch、デジタル入力8点、リレー出力8点を実装。
    4chタイプでは、各信号は標準タイプの2倍となります。SQC310Cではセンサー4ch、ソース制御4ch、デジタル入力16点、リレー出力16点が標準実装となります。
  3. 見やすいモニター画面
    大画面カラー液晶ディスプレィで、表示値やグラフィック表示が見やすくなっています。

用途

  • 薄膜の蒸着制御

仕様

項目 SQC310(多層) SQC310C(単層)
計測 周波数測定範囲(MHz) 6.0~4.0
分解能(注1)
(6MHz時)
0.03Hz
測定回数(Hz) 1~10
表示 膜厚表示分解能(Å) 1
レート表示分解能(Å/s) 0.01 または 0.1
蒸着制御機能 マルチポイント制御 ×
オートZ ×
オートチューニング ×
同時蒸着 × ○(最大4)
ルツボ数 8
プロセスレシピと
データ管理
プロセスレイヤー数 1000
マテリアルテーブル
またはフィルム
50
プロセス数 100
対応センサー シングル 2(2オプション) 4
デュアル 1(1オプション) 2
クリスタル6 ×
クリスタル12 ×
ソース制御出力 ソース数 2(2オプション) 4
電圧(V) 0~±10
レコーダ出力 ×
I/O 入力数 8点(8点オプション)TTL 16点
出力数 8点(8点オプション) 16点
リレー接点(DC30V,2A)
ロジックステートメント ×
リモート
コミュニケーション
RS232C 標準
IEEE488 ×
Ethernet オプション
USB 標準
電源(VAC)
(特にしていない限り50/60Hz±3Hz)
100~240
サイズH×W×D(mm) 132.8 × 213.4 × 254 ハーフラック
質量(kg) 1.8
Windowsアプリケーションソフト 標準添付

注1)材料密度=1.0、Zレシオ=1.0の場合、100msサンプル

カタログダウンロードPDF:1.76MB

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