蒸着用膜厚モニタ SQM160(蒸着制御機器)

蒸着用膜厚モニター  SQM160

膜厚モニター(SQM160)は、蒸着源のコントロールが必要ない場合に最適な低価格のデポジション/エッチングのプロセスモニタです。

表示単位は、レートや膜厚単位(Å)のみならず、質量単位(ng)や周波数単位(Hz)での表示が可能です。センサー入力は2ch(切り替え)で、オプションで8chまで増設が可能です。

蒸着用膜厚モニター SQM160

特長

  1. センサーチャンネル数2ch標準
    標準でセンサー2ch実装しており、デュアルセンサーにも使用可能です。
    さらに、オプションで4chを追加可能でき最大6chまで拡張できます。(切替ての測定)
  2. レコーダ出力2ch
    レコーダ出力には、レートおよび膜厚の2chのアナログ出力を標準装備しています。
    出力電圧は、0~5V
  3. タイプのモニター表示単位
    モニター表示値は、レートと膜厚以外に周波数あるいは質量表示ができます。

用途

  • 膜厚モニター

仕様

項目 SQM160(R&D向けモニター機)
計測 周波数測定範囲(MHz) 6.0~4.0
分解能(注1)
(6MHz時)
0.12Hz(4Hz時)、0.03Hz(10Hz時)
測定回数(Hz) 0.5~10
表示 膜厚表示分解能(Å) 1
レート表示分解能
(Å/s)
0.01 または 0.1
蒸着制御機能 マルチポイント制御 ×
オートZ ×
オートチューニング ×
同時蒸着 ×
ルツボ数 ×
プロセスレシピと
データ管理
プロセスレイヤー数 ×
マテリアルテーブル
またはフィルム
9
プロセス数 ×
対応センサー シングル 2(6オプション)
デュアル 1(3オプション)
クリスタル6 ×
クリスタル12 ×
ソース制御出力 ソース数 ×
電圧(V)
レコーダ出力 2点(0~+5V)
I/O 入力数 2点
出力数 4点
リレー接点(DC30V,2A)
ロジックステートメント ×
リモート
コミュニケーション
RS232C 標準
IEEE488 ×
Ethernet オプション
USB オプション
電源(VAC)
(特にしていない限り50/60Hz±3Hz)
100~120 / 200~240
サイズH×W×D(mm) 88.5 × 212.7 × 196.9ハーフラック
質量(kg) 2.7
Windowsアプリケーションソフト 標準添付

注1)材料密度=1.0、Zレシオ=1.0の場合、100msサンプル

カタログダウンロードPDF:1.36MB

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