センサ(蒸着制御機器)

センサ

通常の蒸着には、水晶振動子1枚のスタンダード、コンパクトおよび2枚のデュアルセンサを、さらに長い交換サイクルが必要な場合に効果を発揮する水晶振動子6枚のクリスタル6あるいは、水晶振動子12枚のクリスタル12を推奨します。
チャンバーを高温にベーキングする真空装置にはベーカブルセンサを、スパッタプロセスにはスパッタセンサを用意しております。蒸着用膜厚モニタ

センサ

仕様

  スタンダード
検出器
コンパクト
検出器
デュアル
検出器
クリスタル6 クリスタル12 ベーカブル
検出器
スパッタ用
検出器
型名 983-9071
(φ1")
983-9072
(φ70ICF)
983-9081
(φ1"、シャッタ付き)
983-9082
(φ70ICF、シャッタ付き)
983-9073
(φ1")
983-9074
(φ70ICF)
983-9083
(φ1")
983-9084
(φ70ICF、シャッタ付き)
983-9075
(φICF70)
983-9090
(φ1")
983-9091
(φ1")
983-9076
(L=305mm)
983-9077
(L=508mm)
983-9078
(L=762mm)
983-9085
(L=305mm)
(シャッタ付き)
983-9086
(L=508mm)
シャッタ付き
983-9087
(L=762mm)
シャッタ付き
983-9079
(φ1")
983-9080
(φ70ICF)
983-9088
(φ1"、シャッタ付き)
983-9089
(φ70ICF、シャッタ付き)
ベーキング
温度(℃)
max130 max130 max130 max130 max130 max450 max105
ヘッド部
※1
最大寸法
(mm)
27×34×18
(43×55×50)
28×27×27
(42×53×47)
34×27×27 φ89×51 φ102×84 35×35×25
(35×38×31)
φ34.5×18
(58×95×40)
L寸法
(mm)
min160、max760
(φICF70)
min200、max760
(φ1")
指定による
min160、max760
(φICF70)
min200、max760
(φ1")
指定による
min190、max760 min230、max760
指定による
min300、max760
指定による
305, 508, 762
の3種指定による
min200、max760
(φICF70)
min250、max760
(φ1")
指定による
フィード
スルー
φI70CF
または
φ1"ボルト式
φI70CF
または
φ1"ボルト式
φ70ICF φ1"ボルト式 φ1"ボルト式 φ70ICF φI70CF
または
φ1"ボルト式
冷却水量
(mL/min)
※2
150~200
30℃max
150~200
30℃max
150~200
30℃max
150~200
30℃max
150~200
30℃max
※3150~200
30℃max
150~200
30℃max
空圧
(シャッタ
あるいは、
クリスタル
回転用)
※4
80
(0.56M Pa/cm2g)
オプションの
シャッタ
取り付け時
80
(0.56M Pa/cm2g)
オプションの
シャッタ
取り付け時
80
(0.56M Pa/cm2g)
80
(0.56M Pa/cm2g)
80
(0.56M Pa/cm2g)
80
(0.56M Pa/cm2g)
オプションの
シャッタ
取り付け時
80
(0.56M Pa/cm2g)
オプションの
シャッタ
取り付け時
水冷パイプ
最小曲げ
半径
(mm)
R15 R15 R15 R15 R15 R15
使用水晶
振動子
008-010-G10
(金電極)
008-010-G10
(金電極)
008-010-G10
(金電極)
008-010-G10
(金電極)
008-010-G10
(金電極)
008-010-G10
(金電極)
008-009-G10
(銀電極)
添付品 クリスタル
スナッチャ
クリスタル
スナッチャ
クリスタル
スナッチャ
クリスタル
スナッチャ
クリスタル
スナッチャ
クリスタル
スナッチャ

※1:デュアル検出器はシャッタを含んだ寸法です。カッコ内寸法は、シャッタをつけた場合の寸法で、詳しくは、図10から図19の検出器寸法図の項をご覧ください。

※2:水質による冷却パイプの腐食割れ防止のため、冷却水には純水に近いものを推奨します。

※3:塩素による応力腐食割れ防止のため水を追い出しを十分に行い、さらに過圧力防止のため外部水冷管を大気開放してベークを行って下さい。

※4:シャッタおよびクリスタル回転操作のため、ソレノイドバルブ(750-420-G1)が必要です。

センサ

カタログダウンロードPDF:1.57MB

膜厚センサー用水晶振動子

カタログダウンロードPDF:1.13MB

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