四重極型質量分析計(トランスデューサタイプ)

四重極型質量分析計(トランスデューサタイプ)
  M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM

M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDMは高感度・高機能で低ガス放出を実現したPC制御専用の四重極型質量分析計です。

M-070QA-TDFは各種真空装置の残留ガスモニタに最適な、低価格版です。

四重極型質量分析計(トランスデューサタイプ) M-070QA-TDF、M-101QA-TDF、M-101/201QA-TDM

特長

  1. 高感度
    ・検出器に2次電子増倍管を使用(M-101/201QA-TDM)
  2. 低ガス放出分析管
    ・低ガス放出のイオン源を採用
    ・デガス機能有り(※1)
  3. 優れた基本性能―高度な分析に対応―
    ・イオン化電圧、エミッション電流の細かい設定が可能(※1)
    ・広いダイナミックレンジ

※1:M-070QA-TDFは対象外

用途

  • 残留ガスモニタ、加速器等の真空モニタ、無機ガス分析、昇温脱離ガス分析、等

仕様

機種名 標準モデル 高感度モデル
M-070QA-TDF M-101QA-TDF M-101QA-TDM M-201QA-TDM
基本
性能
測定質量数範囲 1~70m/z 1~100m/z 1~100m/z 1~200m/z
分解能 M/ΔM≧2M
感度
(N2
FC 1.5×10-6A/Pa以上 7.0×10-6A/Pa以上
SEM 2.5A/Pa以上 1.8A/Pa以上
最小検知分圧 6.7×10-9Pa以下 5.0×10-10Pa以下 1.0×10-12Pa以下 1.0×10-12Pa以下
動作圧力 1.3×10-2Pa以下
ダイナミックレンジ 6桁 7桁
仕様 検出器 FC
EM
イオン源 カゴ型 カゴ型(オプション:箱型※1
フィラメント イットリアコートイリジウム2本 イットリアコートイリジウム2本
オプション:タングステン※1
ベーク温度 250℃(分析管のみ)
デガス機能 エレクトロンボンバード
接続フランジ φ70ICF
定格入力電圧 AC100V~AC240V
最大消費電力 60W 90W
質量 分析管 1.5kg 1.4kg 1.6kg
コントローラ 2.1kg 2.2kg
通信インターフェイス RS-232C/485
標準ソフト QUADVISION
RoHS, CEマーキング 対応

※1)オプションに関する仕様は別途お問い合わせ下さい。

カタログダウンロードPDF:1.42MB

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