四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定)

四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定)  M-401QA-MU/G

質量数1~410m/zまで測定が可能な高性能・高機能の四重極型質量分析計です。

M-401QA-MGSY/MUSYは、汎用型質量分析計として、10倍(当社比)の高速測定を実現しました。

四重極型質量分析計(高速測定/高感度測定) M-401QA-MU/G

特長

  1. 高速測定対応(M-401QA-MGSY/MUSY)
    M/e=1~400m/zを1秒間隔でデータ取得
  2. 2種類のイオン源
    UHV型(かご型)、ガス導入型(箱型)の選択が可能
  3. 高感度(M-401QA-MGHY/MUHY)
    8桁のダイナミックレンジ
  4. 低ガス放出分析管
    低ガス放出のイオン源を採用、デガス機能有り

用途

  • 加速器真空ガスモニタ
  • 無機ガス分析
  • 熱天秤放出ガス分析
  • 昇温脱離ガス分析
  • 微量ガス分析
  • PFCガス分析

仕様

機種名 高速型 高感度型
M-401QA-MGSY M-401QA-MUSY M-401QA-MGHY M-401QA-MUHY
基本
性能
質量数 1~410m/z
分解能 M/ΔM≧2M
感度
(N2
SEM 4.0×10-1A/Pa 4.0A/Pa 4.0×10-1A/Pa 4.0A/Pa
最小検知分圧 ≦5.0×10-12Pa ≦1.0×10-12Pa
最大動作圧力 1.3×10-2Pa以下
ダイナミックレンジ 7桁 8桁 7桁
(高速時) 5桁
仕様 イオン源形状 ガス導入型(箱型) UHV型(カゴ型) ガス導入型(箱型) UHV型(カゴ型)
フィラメント種類 イットリアコートイリジウム※1
ベーク温度 300℃(分析管のみ)
デガス機能 イオンソースヒータ エレクトロンボンバード イオンソースヒータ エレクトロンボンバード
掃引速度 1mSec/amu~ 10mSec/amu~
接続フランジ φ114ICF
定格入力電圧 AC100V~AC240V
最大消費電力 300W
質量 分析管 5.1Kg
コントローラ 6.2Kg
通信インターフェイス RS-485/USB
標準ソフト QUADVISION
RoHS, CEマーキング 対応

※1)フィラメントの素材はオプションがございます。別途お問い合わせ下さい。

カタログダウンロードPDF:1.81MB

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