超高真空フランジ(真空部品)

超高真空フランジ

ICFフランジはメタルシールフランジで、現在知られている超高真空用フランジの中では最も信頼性が高く、取り扱い方法も簡単です。ICFフランジ専用の無酸素銅製ガスケットを使用します。

超高真空フランジ

特長

  1. “Capturing” の理論により、ガスケットを弾性的にシール
  2. 10-10Pa以下の圧力に耐える仕様
  3. -196℃より+450℃までの温度範囲でリークフリー
  4. オス・メスなしの完全対称形フランジです。
  5. 外径の等しいものであれば、どのフランジとも接続でき、回転フランジを使えば取付け方向は自由
  6. シール用ガスケットは銅板(無酸素銅)製で、超高真空用特殊処理を採用
  7. フランジの材質はステンレス鋼(SUS304)

外形寸法図

ICF固定フランジ一覧表

No. フランジ型名 形状 A B B1 C T T1 φH n P.C.D. 適用
ボルト
適用
ガスケット
パック
適用
パイプ
1 954-9401 a 34 "ブランク 7.5 4.5 6 27 M4×20L 953-9210
2 954-9402 b 6 φ6×φ4
3 954-9403 8 φ8×φ5.6
4 954-9404 10 φ10×φ8
5 954-9405 12.8 φ12.7×φ10.7
6 954-9427 c 19.2 16 φ19.1×φ16.7
7 954-1091 M4 M4×16
8 954-7051 d 70 ブランク 12.7 6.7 6 58.9 M6×35L 953-5014
9 954-1101 e 20 17 5.3 φ19.1×φ16.7
10 954-1102 26.5 23.5 φ25.4×φ23
11 954-1103 33 30 φ32×φ29.6
12 954-1104 39 35.5 φ38×φ35
13 954-1105 42 38.5 φ41×φ38
14 954-1191 M6 M6×22L
15 954-7052 d 114 ブランク 17.5 8.4 8 92.2 M8×45L 953-5015
16 954-1201 e 64.5 61 9.5 φ63.5×φ60.2
17 954-1291 M8 M8×30L
18 954-7053 d 152 ブランク 20 8.4 16 130.3 M8×50L 953-5016
19 954-1301 e 103 97 11 φ101.6×φ95.6
20 954-1391 M8 M8×40L
21 954-7054 d 203 ブランク 22 8.4 20 181.1 M8×55L 953-5017
22 954-1401 e 155.5 148.5 12.5 φ153×φ147
23 954-1491 M8 M8×40L
24 954-7055 d 253 ブランク 25 8.4 24 231.9 M8×60L 953-5048
25 954-1501 e 205.5 198.5 12.5 φ203×φ197
26 954-1591 M8 M8×45L

ICF固定フランジ形状

ICF回転フランジ一覧表

No. フランジ型名 形状 A B B1 C T T1 H n P.C.D. 適用パイプ
1 954-9420 a 34 16 19.2 ブランク 7.5 14 4.5 6 27
2 954-1052 b 6 φ6×φ4
3 954-1053 b 8.2 φ8×φ5.6
4 954-1051 c 13.2 φ19.1×φ16.7
5 954-1150 d 70 ブランク 12.7 6.7 6 58.7
6 954-1151 e 20 17 5.3 φ19.1×φ16.7
7 954-1152 e 26.5 23.5 φ25.4×φ23
8 954-1153 e 33 30 φ32×φ29.6
9 954-1154 e 39 35.5 φ38×φ35
10 954-1250 d 114 ブランク 19 8.4 8 92.2
11 954-1251 e 64.5 61 9.5 φ63.5×φ60.2
12 954-1350 d 152 ブランク 21 8.4 16 130.3
13 954-1351 e 103 97 11 φ101.6×φ95.6
14 954-1450 d 203 ブランク 24 8.4 20 181.1
15 954-1451 e 155.5 148.5 12.5 φ153×φ147
16 954-1550 d 253 ブランク 25 8.4 24 231.9
17 954-1551 e 205.5 198.5 12.5 φ203×φ197

ICF回転フランジ形状

大口径ICF固定フランジ一覧表

No. フランジ型名 形状 φA φB
(注2)
θ
(角度)
T T1
(注3)
φH n P.C.D 適用ボルト・
ナット・ワッシャ
適用
ガスケット
型名
(注5)
適用パイプ
外径×内径
型名 寸法
1
(注1)
954-1611 a 305 ブランク 11°15′ 28 8.4 32 284 953-7801 M8×70L 953-7131
2
(注2)
954-1612 b 305 250 11°15′ 28 150 8.4 32 284 953-7801 M8×70L 953-7131 φ250×φ244
3
(注3)
954-1622 c 305 250 11°15′ 28 150 M8
(注4)
32 284 953-7811 M8×50L 953-7131 φ250×φ244
4 954-1701 a 356 ブランク 12° 28.5 10.5 30 325.4 953-7802 M10×70L 953-7132
5 954-1712 b 356 295 12° 28.5 150 10.5 30 325.4 953-7802 M10×70L 953-7132 φ295×φ289
6 954-1722 c 356 295 12° 28.5 150 M10
(注4)
30 325.4 953-7812 M10×50L 953-7132 φ295×φ289
7 954-1801 a 406 ブランク 12° 28.5 10.5 30 381 953-7802 M10×70L 953-7133
8 954-1812 b 406 350 12° 28.5 150 10.5 30 381 953-7802 M10×70L 953-7133 φ350×φ344
9 954-1822 c 406 350 12° 28.5 150 M10
(注4)
30 381 953-7812 M10×50L 953-7133 φ350×φ344

大口径ICF固定フランジ形状

大口径ICF回転フランジ一覧表

No. 組み合せ型名 レシーブ
フランジ
インサート
フランジ
φA φB
(注3)
θ
(角度)
T T1
(注4)
φH n P.C.D 適用パイプ
外径×内径
型名 形状 型名 形状
1
(注2)
954-1661 954-1670 R 954-1681 a 305 ブランク 11°15′ 28 8.4 32 284
2
(注2)
954-1662 954-1670 R 954-1682 b 305 250 11°15′ 28 150 8.4 32 284 φ250×φ244
3 954-1751 954-1760 R 954-1771 a 356 ブランク 12° 28.5 10.5 30 325.4
4 954-1752 954-1760 R 954-1782 b 356 295 12° 28.5 150 10.5 30 325.4 φ295×φ289
5 954-1851 954-1860 R 954-1871 a 406 ブランク 12° 28.5 10.5 30 381
6 954-1852 954-1860 R 954-1882 b 406 350 12° 28.5 150 10.5 30 381 φ350×φ344

大口径ICF回転フランジ形状

変換ICFフランジ一覧表

No. 変換ICF
型名
Iフランジ IIフランジ φA φB T M
ICFサイズ 適用ガスケット 適用ボルト ICFサイズ 適用ガスケット 適用ボルト
1 952-7010 φ70ICF 953-5014 M6×35L φ34ICF 953-9210 M4×12L 70 17 12.7 6-M4(深6)
2 952-7020 φ114ICF 953-5015 M8×45L φ34ICF 953-9210 M4×14L 114 17 17.5 6-M4(深9)
3 952-7021 φ114ICF 953-5015 M8×45L φ70ICF 953-5014 M6×22L 114 38 17.5 6-M6(深10)
4 952-7030 φ152ICF 953-5016 M8×50L φ34ICF 953-9210 M4×14L 152 17 20 6-M4(深9)
5 952-7031 φ152ICF 953-5016 M8×50L φ70ICF 953-5014 M6×22L 152 38 20 6-M6(深10)
6 952-7032 φ152ICF 953-5016 M8×50L φ114ICF 953-5015 M8×25L 152 65 20 8-M8(深10)
7 952-7040 φ203ICF 953-5017 M8×55L φ34ICF 953-9210 M4×14L 203 17 22 6-M4(深9)
8 952-7041 φ203ICF 953-5017 M8×55L φ70ICF 953-5014 M6×22L 203 38 22 6-M6(深10)
9 952-7042 φ203ICF 953-5017 M8×55L φ114ICF 953-5015 M8×25L 203 65 22 8-M8(深10)
10 952-7043 φ203ICF 953-5017 M8×55L φ152ICF 953-5016 M8×30L 203 103 22 16-M8(深10)
11 952-7050 φ253ICF 953-5048 M8×60L φ34ICF 953-9210 M4×14L 253 17 25 6-M4(深9)
12 952-7051 φ253ICF 953-5048 M8×60L φ70ICF 953-5014 M6×22L 253 38 25 6-M6(深10)
13 952-7052 φ253ICF 954-5048 M8×60L φ114ICF 953-5015 M8×25L 253 65 25 8-M8(深12)
14 952-7053 φ253ICF 953-5048 M8×60L φ152ICF 953-5016 M8×30L 253 103 25 16-M8(深12)
15 952-7054 φ253ICF 953-5048 M8×60L φ203ICF 953-5017 M8×30L 253 154 25 20-M8(深12)

変換ICFフランジ形状

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