真空スイッチ(真空部品)

真空スイッチ

単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において、同時にON・OFF2点制御信号が得られ、しかも、作動圧力の変化もわずかです。

また真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造ですので高真空に接続可能です。そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても使用できます。

真空スイッチ

特長

  1. 寿命が10,000回以上と長く、作動圧力の変化もわずか
  2. 真空スイッチ内が加圧される場合でも、0.2MPaまで使用
  3. φ15ゲージアダプタに差し込むタイプですので取付け取外しが容易
  4. 954-7730真空スイッチは250℃まで加熱可能ですので超高真空装置に使用可能

用途

各種自動化真空装置等の保護および安全回路用スイッチとしての使用。各種真空系の制御信号が取り出し可能

仕様

型名 954-7700 954-7720 954-7730
作動圧力
(黒-黄リード線にて)
OFF 大気圧マイナス2.7±2.7×103Pa 大気圧マイナス
2.7±2.7×103Pa
ON 大気圧マイナス16±2.7×103Pa 大気圧マイナス
14±2.7×103Pa
使用真空度 10-7Pa程度 10-8Pa程度
リーク量 1.33×10-11Pa・m3/sec以下
流体 空気・ガス(SUS-304を侵す腐食性ガスを除く)
耐圧力 ※0.2MPa
許容加熱温度 40℃ 250℃
使用周囲温度 -10℃~+40℃
材質 真空側はすべてSUS-304
寿命 10,000回以上
接続フランジ φ70ICF 954-7806φ15アダプタ
954-7832ゲージアダプタ
954-7833ゲージアダプタ
954-7834ゲージアダプタ
φ70ICF
質量 510g 220g 580g

※954-7720真空スイッチの内部を加圧状態にする際はφ15アダプタから飛び抜けぬように対策して下さい。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.15MB

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