真空スイッチ(真空部品)

真空スイッチ

本真空スイッチは単極双投接点を備え、作動圧力の上限または下限において、同時にON・OFF2点制御信号が得られ、しかも、作動圧力の変化もわずかです。

また、真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造ですので高真空に接続可能です。そのため、自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても使用できます。

真空スイッチ

特長

  1. 単極双投接点を備えているため、作動圧力の上限または下限において、ON・OFF2点制御信号が得られます。
  2. 真空側はすべてSUS-304を使用しており、大気とのシールは溶接構造ですので、超高真空に接続可能です。
  3. 寿命が10,000回以上と長く、作動圧力の変化もわずかです。
  4. V-015VS-T はφ15ゲージアダプタに差し込むタイプですので取付け取外しが容易にできます

用途

各種自動化真空装置等の保護および安全回路用スイッチとしての使用。各種真空系の制御信号が取り出せます。

仕様

型名 V-070VS-I V-015VS-T
作動圧力
黒-黄リード線にて
OFF:大気圧~大気圧 - 5.4kPa
ON:大気圧 - 7.0kPa~大気圧 - 18.7kPa
使用真空度 10-7Pa程度
リーク量 1.33×10-11Pa・m3/sec以下
流体 空気・ガス (SUS-304を侵す腐食性ガスを除く)
許容加熱温度 40℃
仕様周囲温度 -10℃ ~ +40℃
材質 真空側はすべてSUS-304
寿命 10,000回以上
接続フランジ φ70ICF φ15アダプタゲージポート
電気定格 定格電圧 - 抵抗負荷
AC250V - 15A
DC125V - 0.6A
DC250V - 0.3A
・周囲温度:20±2℃
・周囲湿度:65±5%RH
・操作ひん度:30回/min
最小適用負荷(参考値):DC5V 160mA
質量 500g 260g

注意) 内部の圧力は0.5MPa未満でご使用願います(0.02MPa以下を推奨)。なおV-015VS-T真空スイッチの場合、内部が加圧状態になるとφ15アダプタから飛び抜けて危険なため、内部が加圧になる場合は必ず安全対策をお願いします。

外形寸法図

ボンディングワイヤ(300x)

図1 V-070VS-I の外形寸法図

フリップチップ(300x)

図2 V-015VS-T の外形寸法図


その他技術情報等

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