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社員インタビュー

イオンポンプ・ノーブルポンプ(真空ポンプ)

イオンポンプ・ノーブルポンプ

イオンポンプ・ノーブルポンプは、磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行う超高真空ポンプです。

イオンポンプ・ノーブルポンプ

特長

  1. 完全オイルフリー
    油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られる
  2. 超高真空、極超真空
    イオンポンプ・ノーブルポンプは10-1Pa~10-9Paの圧力範囲で動作しますので極高真空の作成に最適
  3. 無人運転
    運転に必要なのは電力だけで、夜間の無人運転や遠隔操作に便利
  4. 不活性ガスの排気(ノーブルポンプ)
    二極型イオンポンプに比べ、不活性ガスの排気速度が大きくなっています(アルゴンで空気の約21%)

用途

  • 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
  • 電子顕微鏡、表面分析装置
  • 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
  • 電子管などの真空保持ポンプ

仕様

20L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ 名称 20L/s
イオンポンプ
20L/s
ノーブルポンプ
型名 912-7125 912-7120
排気速度
(N2ガスに対して)
20L/s
動作範囲(注1) 10-1~10-9Pa 1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 1.3Pa以下 6.7Pa以下
内容積 1.4L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ70ICF
電流導入端子 交換不可
素子(交換用) 交換不可
マグネット 912-7121(1個)本体に含む
質量 10.5kg
20L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

30L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ 名称 30L/s
イオンポンプ
30L/s
ノーブルポンプ
型名 912-7135 912-7130
排気速度
(N2ガスに対して)
30L/s
動作範囲(注1) 10-1~10-9Pa 1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 1.3Pa以下 6.7Pa以下
内容積 2.2L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ114ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 交換不可
マグネット 912-7121(1個)本体に含む
質量 12.5kg
30L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

60L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

ポンプ 名称 60L/s
イオンポンプ
60L/s
ノーブルポンプ
型名 912-7165 912-7160
排気速度
(N2ガスに対して)
60L/s
動作範囲(注1) 10-1~10-9Pa 1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 1.3Pa以下 6.7Pa以下
内容積 6.2L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ152ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-7027(1組) 915-9527(1組)
マグネット 912-7121(2個)本体に含む
質量 25.6kg
60L/sイオンポンプ・ノーブルポンプ

110L/sノーブルポンプ・140L/sイオンポンプ

ポンプ 名称 110L/s
ノーブルポンプ
140L/s
イオンポンプ
型名 912-7020 912-7010
排気速度
(N2ガスに対して)
110L/s 140L/s
動作範囲(注1) 1~10-9Pa 10-1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 6.7Pa以下 1.3Pa以下
内容積 18L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ203ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-9520(1個) 915-9510(1個)
マグネット 912-7001(1個)本体に含む
質量 48kg
110L/sノーブルポンプ・ 140L/sイオンポンプ

220L/sノーブルポンプ

ポンプ 名称 220L/sノーブルポンプ
型名 912-7040 912-7041
排気速度
(N2ガスに対して)
220L/s
動作範囲(注1) 5×10-1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 3.4Pa以下
内容積 26L 28L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ203ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-9510(2個)
マグネット 912-7002(1個)
本体に含む
912-7001(2個)
本体に含む
質量 85kg 90kg
220L/sノーブルポンプ

270L/sイオンポンプ

ポンプ 名称 270L/sイオンポンプ
型名 912-7030 912-7031
排気速度
(N2ガスに対して)
270L/s
動作範囲(注1) 5×10-2~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 6.5×10-1Pa以下
内容積 26L 28L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ203ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-9510(2個)
マグネット 912-7002(1個)
本体に含む
912-7001(2個)
本体に含む
質量 85kg 90kg
270L/sイオンポンプ

400L/sノーブルポンプ・500L/sイオンポンプ

ポンプ 名称 400L/s
ノーブルポンプ
500L/s
イオンポンプ
型名 912-7060 912-7050
排気速度
(N2ガスに対して)
400L/s 500L/s
動作範囲(注1) 1~10-9Pa 10-1~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 6.7Pa以下 1.3Pa以下
内容積 38L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ203ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-9520(4個) 915-9510(4個)
マグネット 912-7002(2個)本体に含む
質量 120kg
400L/sノーブルポンプ・ 500L/sイオンポンプ

800L/sノーブルポンプ・1000L/sイオンポンプ

ポンプ 名称 800L/s
ノーブルポンプ
1000L/s
イオンポンプ
型名 912-9110 912-7190 912-9100 912-7195
排気速度
(N2ガスに対して)
800L/s 1000L/s
動作範囲(注1) 10-2~10-9Pa 10-3~10-9Pa
起動可能圧力(注1) 1.3×10-1Pa以下 1.3×10-2Pa以下
内容積 106L
最大加熱温度 250℃
吸入口 φ326CS
フランジ
φ356ICF φ326CS
フランジ
φ356ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 912-9520(8個) 915-9510(8個)
マグネット 912-7003(2個)本体に含む
質量 257kg
800L/sノーブルポンプ・ 1000L/sイオンポンプ
カタログダウンロードPDF:4.88MB

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