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社員インタビュー

エクセルポンプ(真空ポンプ)

エクセルポンプ

イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発したポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータの採用やNEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にした小型軽量ポンプです。

エクセルポンプ

特長

  1. UHV、XHV領域での高い排気能力
    新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ)モジュールにより、10-10Pa台を実現
  2. 高効率ベーキングの実現
    組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
  3. 小型、軽量
    40%のサイズダウン(当社比)

用途

  • 完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系
  • 電子顕微鏡、表面分析装置
  • 粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置
  • 電子管などの真空保持ポンプ

仕様

ポンプ 名称 125L/sエクセルポンプ
型名 912-7100
排気速度
(N2ガスに対して)
125L/s
動作範囲(注1) 10-310-10Pa *NEGモジュール組込み時
起動可能圧力(注1) 1×10-2Pa以下
内容積 約10L
最大加熱温度 250℃(但し、マグネットを取り外したポンプシェル本体は400℃までベーキング可能)
吸入口 φ152ICF
電流導入端子 954-7281
素子(交換用) 915-7070エクセル素子(2個)
マグネット 912-7005(1個)本体に含む
質量 約48kg
カタログダウンロードPDF:2.15MB

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