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チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

チタンサブリメーションポンプおよびタイバックポンプは、チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。

チタンサブリメーションポンプ・タイバックポンプ

特長

  1. オイルフリーの超高真空
    イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現
  2. 経済的
    イオンポンプ、ターボモレキュラポンプ、クライオポンプと併用しますと、排気速度、および到達圧力を著しく向上することができますから、大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的
  3. コンパクト設計
    小型軽量で取付場所を選びません

用途

お手持ちの真空ポンプ(イオンポンプ、クライオポンプ、ターボモレキュラポンプ等)排気系の排気時間の短縮、到達圧力の向上、排気量の増加を図りたい場合に効果的

仕様

名称 チタンサブリメーションポンプ タイバックポンプ
型名 956-7015 956-7040
動作圧力 3Pa以下
有効チタン量 約1g/1本 約15g
フィラメント数 3本
チタン蒸発量 平均0.07g/h(1本)45A通電時 平均0.35g/h 48A通電時
使用フランジ φ70ICFフランジ
質量 約580g 約680g

カタログダウンロードPDF:1.97MB

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