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社員インタビュー

コンビネーションポンプ(真空ポンプ)

コンビネーションポンプ

コンビネーションポンプでは、チタンサブリメーションポンプと三極型イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、大排気速度を安い価格で得られます。

コンビネーションポンプ

特長

  1. 大排気速度
    排気速度1L/sあたりの価格(制御装置の価格も含む)は、イオンポンプに比べて約1/2~1/3
  2. 軽量でコンパクト
    同じ排気速度を持つイオンポンプに比べ、体積・重量は1/5~1/10です。したがって、被排気系への取付け、取外しが簡単に行え、小さなスペースで大排気速度が得られます

用途

蒸着装置、電子顕微鏡、質量分析装置、真空炉、各種分析装置、実験装置、排気装置、その他ガス放出の多い超高真空系

仕様

400L/sコンビネーションポンプ

排気速度・排気流量 図1参照
使用圧力範囲 10-1Pa~10-9Pa
ベーキング温度 MAX250℃
質量 約15kg
吸気口フランジ φ152ICFフランジ
内容積約 4.5L
適用制御装置 922-9119サブリメーションポンプ制御装置およびPIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ制御装置
400L/s コンビネーションポンプ

図1 排気速度・排気流量 - 圧力特性

800L/sコンビネーションポンプ

排気速度・排気流量 図2参照
使用圧力範囲 10-1Pa~10-9Pa
ベーキング温度 MAX 250℃
質量 約25kg
吸気口フランジ φ203ICFフランジ
内容積約 約7.5L
適用制御装置 922-9119サブリメーションポンプ制御装置およびPIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ制御装置
800L/s コンビネーションポンプ

図2 排気速度・排気流量 - 圧力特性

1600L/sコンビネーションポンプ

排気速度・排気流量 図3参照
使用圧力範囲 10-1Pa~10-9Pa
ベーキング温度 MAX 250℃
質量 約35kg
吸気口フランジ 吸気口フランジφ253ICFフランジ
内容積約 約15.5L
適用制御装置 922-9119サブリメーションポンプ制御装置およびPIC-052NP 20/60L/sノーブルポンプ制御装置
1600L/s コンビネーションポンプ

図3 排気速度・排気流量 - 圧力特性

カタログダウンロードPDF:2.22MB

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