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社員インタビュー

スクロールドライポンプ SH110/PTS300/PTS600

スクロールドライポンプ(アジレント・テクノロジー社製品)
  SH-110/PTS300/PTS600

従来のスクロールポンプの欠点であった水分の凝縮による信頼性の低下の問題を克服し、あらゆる雰囲気でのオイルフリーな真空排気を可能としました。

スクロールドライポンプ(アジレント・テクノロジー社製品)SH-110/PTS300/PTS600
スクロールドライポンプ(アジレント・テクノロジー社製品)SH-110/PTS300/PTS600

特長

  1. オイルフリーのクリーン排気
  2. 水蒸気等の凝縮性気体も安心して排気
  3. 低い到達圧力

用途

  • 分析装置
  • ロードロックの排気
  • PVDシステム
  • リークディテクタ
  • ターボ分子ポンプのあら引き
  • イオンポンプのあら引き
  • その他クリーン、オイルフリー真空系のあら引き

仕様

SH-110

型番 SH-110
最大排気速度 6.6m3/hr(110l/m)@60Hz
5.4m3/hr(90l/m)@50Hz
到達圧力 6.6Pa以下
駆動電圧 単相/50-60Hz/100-115:200-230VACAC
所要電力(到達圧力時) 0.48kW
質量 19.54kg

PTS300/PTS600

型番 PTS300 PTS600
排気速度 15m3/hr(250l/m)@60Hz
13m3/hr(210l/m)@50Hz
30m3/hr(500l/m)@60Hz
25m3/hr(420l/m)@50Hz
到達圧力 1.3Pa以下 0.93Pa以下
駆動電圧 AC100 - 115V,200 - 230V ± 10%(50/60Hz1φ)
AC200 - 230V, ± 10%(50Hz3φ)
AC200 - 230V, ± 10%(60Hz3φ)
所要電力(到達圧力時) 0.48kW 0.98kW(1φ)
0.48kW(3φ)
質量 26.4kg 31kg
カタログダウンロードPDF:1.79MB

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