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社員インタビュー

ハードプロセス用スクリュー型ドライポンプ SDE シリーズ

ハードプロセス用スクリュー型 SDE シリーズ
  スクリュー型ドライポンプ SDE 90/120
  ドライ排気ユニット SDE303A/603A/1203B/2003B

クリーン用途から半導体・電子部品製造用ハードプロセスまで幅広い用途に対応可能なスクリュー型ドライポンプです。

スクリュー型ドライポンプ(SDE90/120)とインバータ制御のルーツポンプを組み合わせたドライ排気ユニットもあります。

ハードプロセス用スクリュー型 SDE シリーズ スクリュー型ドライポンプ SDE 90/120 ドライ排気ユニット SDE303A/603A/1203B/2003B

特長

  1. ハードプロセス対応
  2. 省電力
    従来製品に対し消費電力を40%低減しています。
  3. 窒素パージ消費量の低減

用途

クリーン用途からハードプロセスまで

  • エッチングプロセス
  • CVDプロセス
  • スパッタリング
  • ロードロック
  • トランスファー など

仕様

スクリュー型ドライポンプ SDE 90/120

型番 SDE90 SDE120
最大排気速度(L/min) 1,300 2,000
到達圧力注1)(Pa) 1.3
最大吸気口圧力 大気圧
最大排気口圧力 大気圧
吸気口フランジ NW40 NW50
排気口フランジ NW40
冷却水 最大供給圧力(MPa) 0.5(ゲージ圧)IN-OUT差圧:0.2以上
流量(L/min) 4~8(温度:10~25℃)
接続口径 Rc3/8(セルフシールカプラ付)
窒 素 供給圧力(MPa) 0.1~0.7(ゲージ圧)
流量注2)(L/min) 0~60
接続口径 1/4"パイプ継手
電源電圧 三相 AC200~220V 50/60Hz
電源容量(kVA) 6.5
消費電力注3)(kW) 2.8 3.2
使用環境温度範囲(℃) 5~30℃
質量(kg) 150 151
外形寸法 L×W×H (mm) 690×370×551 690×370×560

スクリュー型ドライポンプユニット

型番 SDE303A SDE603A SDE1203B SDE2003B
ポンプ構成 ドライポンプ
ルーツポンプ
SDE90
KMB303
SDE90
KMB603
SDE120
KMB1203
SDE120
KMB2003
最大排気速度(L/min) 5,000 10,000 20,000 30,000
到達圧力注1)(Pa) 0.5
最大吸気口圧力 大気圧
最大排気口圧力 大気圧
吸気口フランジ NW50 NW80 NW100 NW160
排気口フランジ NW40
冷却水 最大供給圧力(MPa) 0.5(ゲージ圧)IN-OUT差圧:0.3以上
流量(L/min) 4~8(温度:10~25℃)
接続口径 Rc3/8(セルフシールカプラ付)
窒 素 供給圧力(MPa) 0.1~0.7(ゲージ圧)
流量注2)(L/min) 0~60
接続口径 1/4"パイプ継手
電源電圧 三相 AC200~220V 50/60Hz
電源容量(kVA) 10.5 11.0 17.6
消費電力注3)(kW) 3.0 3.1 3.6 4.2
使用環境温度範囲(℃) 5~30℃
質量(kg) 280 320 495
外形寸法 L×W×H (mm) 760×400×945 900×400×945 1000×500×1165

注1)窒素パージなしの値を示します。

注2)窒素流量は用途によります。

注3)到達圧力時の値を示します。

カタログダウンロードPDF:2.0MB

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