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ライトプロセス用ルーツ型ドライポンプ MUシリーズ

ライトプロセス用ルーツ型MUシリーズ
  ルーツ型ドライポンプ MU100N/300

世界最小サイズ、最小水準の省エネルギーを実現したライトプロセス用ルーツ型のドライポンプです。

ライトプロセス用ルーツ型MUシリーズ ルーツ型ドライポンプ MU100N/300

特長

  1. 小型・軽量化
    フットプリント230mm × 450mm(0.1m2)で、1660L/minの排気能力を確保した、小型・軽量・高性能ポンプ
  2. 省エネ化
    ・MU100N到達圧力時の消費電力:0.7kW(従来機比Δ46%)
    ・冷却水量:2L/min(従来機比Δ43%)
    ・窒素パージ消費量の低減クリーン用途では窒素パージ不要(Ar排気は窒素パージが必要)

用途

ライトプロセス用

  • スパッタリング
  • ロードロック

仕様

型番 MU100N MU300
最大排気速度(L/min) 1,660 5,000
到達圧力注1)(Pa) 1.5 0.5
最大吸気口圧力 大気圧
最大排気口圧力 大気圧
吸気口フランジ NW50
排気口フランジ NW25
冷却水 最大供給圧力(MPa) 0.5(ゲージ圧)IN-OUT差圧:0.2以上
流量(L/min) 2~3(温度:10~25℃)
接続口径 Rc1/4(セルフシールカプラ付) Rc3/8(セルフシールカプラ付)
窒 素 供給圧力(MPa) 0.1~0.7(ゲージ圧)
流量注2)(L/min) 0または5 0~10
接続口径 1/4"パイプ継手
電源電圧 三相 AC200~220V 50/60Hz
電源容量(kVA) 4.0 7.0
消費電力注3)(kW) 0.7 0.9
使用環境温度範囲(℃) 5~30℃
質量(kg) 60 100
外形寸法 L×W×H (mm) 450×230×275 450×230×550

注1)窒素パージなしの値を示します。

注3)窒素流量は用途によります。

注4)到達圧力時の値を示します。

カタログダウンロードPDF:1.50MB

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