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社員インタビュー

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置 P-500シリーズ

10-2Pa~10-4Pa以下の高真空からイオンポンプ又はノーブルポンプを運転する制御装置です。
表示は緑色の大型LEDを採用して、離れた位置からの視認性を向上しました。
従来モデルとの互換性を考慮しながら、機能アップ、CE、RoHS適合を実現しています。
充実したI/0機能に加えて、オプションボード追加によってRS232C通信への対応が可能など自動化装置・遠隔操作用装置に最適です 。
イオンポンプ用とノ-ブルポンプ用それぞれに、超高真空型と高出力型の2タイプがあり、接続するポンプにより、動作可能圧力範囲と起動可能圧力が変わります。

イオンポンプ/ノーブルポンプ用制御装置   P-500シリーズB

特長

  1. 高性能
    電流値・電圧値のモニタ時の表示可能最小値の改善、圧力表示の追加、各種保護機能など、高電圧電源に必要な基本機能を高いレベルで実現 ハードプロセス対応
  2. 充実の機能
    セットポイント2点標準装備など各種I/O標準装備で外部制御に対応 停電自動復帰(選択可能)
  3. 高互換性
    従来機種とリモ-トコネクタ、入力ケーブル、出力ケーブルの互換性を確保
  4. 通信対応
    RS232C (オプション(工場組込対応))
  5. 適合規格
    CEマーキング、RoHS指令 適合

用途

  • 電子顕微鏡、電子線描画装置
  • イオンビ-ム装置、マスクリペア装置
  • 蓄積リング、ビームライン等の加速器関連システム
  • MBE、表面分析装置等の超高真空装置、各種分析装置   など

仕様

イオンポンプ制御装置

型名 P-511 IP P-521 IP
名称 イオンポンプ制御装置
対応ポンプ 全てのイオンポンプ
最大出力電圧 DC+5.2KV±10%/DC+7.5KV±10%/DC+3.5KV±10%
プログラムモードでの切換式
最大出力電流 43mA以上 170mA以上
入力電圧 AC90~250V 50/60Hz単相 (マルチ電圧入力)
消費電力 最大 約500VA
外形寸法 W209×H99×D370 mm(1/2ラックサイズ)
質量 約6Kg(オプションボード未装着)
使用温度/湿度 0~40℃/85% RH以下(結露無きこと)
使用環境 屋内使用/標高2000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲 出力電圧 0.1×103V(0.1KV)~8.0×103V(8.0KV)
出力電流 0.1×10-7A(10nA)~5.0×10-1A(500mA)
圧力 1.1×10-9~1.0×10-3Pa
(接続するポンプにより表示範囲が変わります)
1L/s及び8L/sの場合、表示機能無し
保護機能 各種保護機能有り 保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示
圧力接点 1μA~99mAの範囲で2点設定可能
REMOTEモード 前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能
適合規格 CE、RoHS

ノーブルポンプ制御装置

型名 P-511 NP P-521 NP
名称 ノーブルポンプ制御装置
対応ポンプ 全てのノーブルポンプ、エクセルポンプ、コンビネーションポンプ
最大出力電圧 DC-5.2KV±10%/DC-7.0KV±10%
プログラムモードでの切換式
最大出力電流 43mA以上 170mA以上
入力電圧 AC90~250V 50/60Hz単相 (マルチ電圧入力)
消費電力 最大 約500VA
外形寸法 W209×H99×D370 mm(1/2ラックサイズ)
質量 約6Kg(オプションボード未装着)
使用温度/湿度 0~40℃/85% RH以下(結露無きこと)
使用環境 屋内使用/標高2000m以下/汚染度:2/設置カテゴリー:Ⅱ
表示範囲 出力電圧 0.1×103V(0.1KV)~8.0×103V(8.0KV)
出力電流 0.1×10-7A(10nA)~5.0×10-1A(500mA)
圧力 1.1×10-9~1.0×10-3Pa
(接続するポンプにより表示範囲が変わります)
保護機能 各種保護機能有り 保護機能動作時は表示部にエラーと番号表示
圧力接点 1μA~99mAの範囲で2点設定可能
REMOTEモード 前面パネルのREMOTEスイッチにてREMOTE/LOCALの切換が可能
適合規格 CE、RoHS

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:511kB

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