ターボ分子ポンプ nEXTシリーズ(エドワーズ社製)

ターボ分子ポンプ「nEXTシリーズ」

nEXTターボ分子ポンプは製品製造の為の設計に新しい考え方を取り入れました。ターボ分子ポンプの全ての最新技術を集積し、クラス最先端の製品を提供するよう設計されています。
nEXTには240L/sec、300L/sec、400L/sec の3種類のサイズが用意されています。

ターボ分子ポンプ「nEXTシリーズ」

特長

  1. 卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のロータデザイン
  2. マグネットベアリングとセラミックベアリングのハイブリッド構造
  3. 優れたメンテナンス性
    ベアリングと潤滑油の交換がユーザーで簡単に可能
  4. DC24V駆動コントローラを内蔵
    80Wまたは160W出力
  5. DとTの2種類のバージョンを準備
    D:タービンブレード+ドラッグステージ
    T:Dタイプ機構+リジェネレーションステージ
  6. インターステージポート(iタイプ)を準備

用途

  • 理化学用分析機器
  • LCMS
  • GCMS
  • SEM

仕様

  nEXT240 nEXT300 nEXT400
インレットフランジ DN100 ISO-K DN100CF DN100 ISO-K DN100CF DN160 ISO-K DN160CF
排気速度 L/sec N2 240 300 400
He 230 340 390
H2 165 280 325
圧縮比(D) N2 >1X1011 >1X1011 >1X1011
He 3X105 1X106 1X108
H2 1X104 5X104 5X105
圧縮比(T) N2 >1X1011 >1X1011 >1X1011
He 1X106 3X106 >1X108
H2 1.5X104 1X105 1X106
インターステージ排気速度 L/sec
(iタイプのみ)
N2 13 13 13
He 13 13 13
H2 11 11 11
到達圧力 Pa ISO(CF)フランジ 6×10-6(5×10-8 6×10-6(5×10-8 1×10-6(1×10-8
背圧/インターステージ※1/ブーストポート※2 NW25 NW25 NW25
ベント/パージポート 1/8 BSP 1/8 BSP 1/8 BSP
臨界背圧(D) Pa 950 950 1,000
臨界背圧(T) Pa 2,000 2,000 2,000
連続最大吸気流量 (窒素sccm)
水冷時(外気温40℃)
45 95 105
連続最大吸気流量h(窒素sccm)
強制空冷時(外気温35℃)
30 115 90
連続最大吸気流量 (窒素sccm)
自然空冷時(外気温35℃)
10 35 45
連続最大背圧Pa
水冷時(外気温40℃)
600 675 750
連続最大背圧 Pa
強制空冷時(外気温35℃)
475 700 750
連続最大背圧 Pa
自然空冷時(外気温30℃)
100 275 400
推奨背圧ポンプ※3 RV12 / XDS10 RV12 / XDS10 RV12 / XDS10
最大ブースト速度 (Tタイプ)
RV12使用時m3/h (L/min)
N2 26(433) 26(433) 26(433)
最大ブースト速度 (Tタイプ)
XDS10使用時m3/h (L/min)
N2 24(400) 24(400) 24(400)
ノーマル回転速度 rpm 60,000 60,000 60,000
90%速度までの起動時間 D(T) sec 115(150) 145(190) 180(210)
ノイズレベル(機側 1m)dB(A) < 45(±3) < 45(±3) < 45(±3)
質量 D(T)kg ISO 5.7(6) 5.7(6) 6.5(6.8)
CF 8.8(9.1) 8.5(8.8) 9.5(9.8)

※1)オプション仕様

※2)Tタイプのみ

※3)用途次第ではより小さな背圧ポンプを使用することが可能

カタログダウンロードPDF:3.84MB

このページのトップヘ