ターボ分子ポンプ EXTシリーズ(エドワーズ社製)

ターボ分子ポンプ「EXTシリーズ」

EXT75DX ターボ分子ポンプは、磁気ベアリングとセラミックボールベアリングの2種類の基本技術を取り入れています。
セラミックボールベアリングはグリース、またはオイルで潤滑されるベアリングですが、シリコン窒化物製ボールはスチール製ボールと比較して軽量、硬質、円滑等の優位性を備え、長寿命と低振動性が実現しました。
更にボールとレースの素材が異なることにより、マイクロピットの発生を防ぐことができ、信頼性が向上しました。

ターボ分子ポンプ「EXTシリーズ」

特長

  1. 低振動
    一般的に従来型ベアリングと比較して10分の1
  2. 冷却の必要性が低い
    多くのアプリケーションでは大気による冷却で十分
  3. メンテナンスの軽減

用途

  • 理化学用分析機器
  • CMS
  • GCMS
  • SEM
  • その他高真空排気用

仕様

  EXT75DX
吸気フランジ NW40 ISO63 ISO100 63CF
排気速度(L/s)※1 N2 42 61 66 61
He 49 57 59 57
H2 48 53 54 53
到達圧力(Pa)※2 <5×10-7 <5×10-8
質量kg 2.9 3 3.2 4.9
圧縮比 N2 >1×1011
He 1×108
H2 5×104
排気フランジ NW16
ベアリング形式 上部 磁気浮上式
下部 セラミックボール
最小背圧ポンプ速度(L/min)※3 13(E2M0.7)
ベントポート 1/8インチBSPメス
パージポート 1/8インチBSPメス
最大連続吸気圧(Pa)※4 冷却水使用(15℃) 2
エアクーラ使用(35℃) 1
臨界背圧(Pa) 1,200
公称回転速度(rpm) 90,000
スタンバイモード(rpm) 49,500~90,000(可変)
起動時間(90%まで)(秒) 110
冷却方法 強制空冷、水冷
運転時の外気温度範囲(℃) エアクーラ使用 5~35
冷却水温度範囲(℃) 10~20
最小冷却水量(15℃)(L/h) 15
取付方向※6 垂直上向きから水平方向
最大磁場漏洩量(mT) 5
推奨コントローラ型式 TIC100Wまたは200W
無負荷時消費電力(W) 10

※1)インレットスクリーンなしの値で、スクリーン付きの場合の速度は約10%低下します。

※2)到達圧は48時間ベーク後の測定値です。

※3)スループットを最大にする時は、より大きな背圧ポンプが必要となります。

※4)この圧力以上では公称回転数には達しません。

※5)背圧ポンプの排気速度に応じ、ブーストポートの排気速度が変わります。

※6)水平方向にした場合は排気ポートは下向きにして下さい。

カタログダウンロードPDF:3.84MB

このページのトップヘ