ターボ排気ユニット T-Station 75(エドワーズ社製)

ターボ排気ユニット「T-Station 75」

T-Station75は、新たに開発したターボ排気ユニットです。多くの実績を持つEXT75DXターボ分子ポンプとE2M1.5ロータリポンプまたはXDD1 ダイアフラムポンプを組み合わせることで、完全なドライシステムの要求に対応します。
T-Station には新しいTAG(Turbo and Active Gauge)コントローラが標準で装着されており、ボタン1つでシステムの始動と停止を行うことができます。T-Station はアクティブゲージとベントバルブの制御が可能です。また、ゲージ装着時には時間または圧力に応じてターボポンプの遅延始動を制御できるため、研究室での一般的なニーズに適合しています。

※アクセサリー

ターボ排気ユニット「T-Station 75」

特長

  1. EXT75DXを搭載した高真空排気ユニット
  2. 背圧ポンプはロータリポンプ(E2M1.5)またはダイヤフラムポンプ(XDD1)を2種類選択
  3. オプションで真空ゲージおよびベントバルブの選択が可能
  4. メインフランジはNW40、ISO63、63CFの3種類を準備

用途

  • 研究開発用
  • 理化学実験用高真空排気装置として

仕様

排気速度 N2 NW40フランジ 42L/sec
ISO/63CFフランジ 61L/sec
背圧ポンプ仕様 50Hz
E2M1.5システム(T-Station 75W) 26.6L/min
XDD1システム (T-Station 75D) 20L/min
到達圧力 < 5×10-6Pa
質量 E2M1.5システム 21kg
XDD1システム 17kg
リークレート < 1×10-7Pam3/s
周囲温度範囲(使用時) 10~40℃
カタログダウンロードPDF:3.84MB

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