ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG(真空計)

ピラニゲージ(耐蝕型)  M-351PG

Niフィラメントを採用し、耐蝕性を向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。

ピラニゲージ(耐蝕型) M-351PG

特長

  1. 耐食性の向上
    Niフィラメント採用等
  2. 再現性がよく低価格
  3. 5×10-2Paから大気圧

用途

  • 半導体、電子デバイス製造装置
    ドライエッチング装置、プラズマCVD装置、LD-CVD装置など
  • 食品・医薬品製造装置
    真空凍結乾燥、真空蒸留装置、滅菌装置など

仕様

型 名 M-351PG-SP
(Niフィラメント仕様)(セットポイント付タイプ)
測定圧力範囲 5×10-2~1×105(Pa)
精度(Pa) ±50%:5×10-2 ~ 1×10-1
±15%:1×10-1 ~ 1×104
±50%:1×104 ~ 1×105
再現性 ±2% : 1×10-1 ~ 1×104Pa
入力電圧 DC+14~30V
消費電力 2W
アナログ出力 0~10V
ゲージ認識抵抗値 13KΩ(D-sub5-9番ピン間)
セットポイント 2接点出力(1A30V,DC)
インターフェース
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 200m(0.34mm2)対応可能*1
使用温度範囲 5~60℃
保存温度範囲 -20~70℃(非動作時)
ベーキング温度 <+150℃(Oリング仕様、ゲージヘッドのみ)
<+300℃(メタルシール仕様、ゲージヘッドのみ)
許容過負荷圧力 1MPa(継手形状NPTに限る、不活性ガスに限る、絶対圧)
適合ピラニセンサ型名 MP-2
フランジ形状 NW16、NW25、1/8NPT
センサー材質(主要部) ピラニフィラメント:ニッケル
センサーチューブ:ステンレス
導入端子絶縁部:コバールガラス+Al2O3コート
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.50MB

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