コールドカソードピラニゲージ M-360CP(真空計)

コールドカソードピラニゲージ  M-360CP

低真空領域の測定にはピラニゲ-ジを、高真空領域の測定にはコールドカソードゲージを採用したコンビネーションゲージです。コールドカソードゲージ部は熱フィラメントを使用しておらず、断線の心配がありません。広い圧力領域をこの1台で測定できます。

後継機種につきましては下記をご参照ください。
・後継機種製品ページ
    コールドカソードピラニゲージ M-361CP

コールドカソードピラニゲージ M-360CP

特長

  1. コールドカソードゲージとピラニゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
  2. 5×10-7Paから大気圧
  3. センサクリーニング可能

用途

  • 電子顕微鏡他各種分析装置、蒸着装置、真空炉他各種真空装置、半導体、電子部品の製造装置の粗引き及び到達圧力測定など

仕様

型 名 コールドカソードピラニゲージ
M-360CP-SP
セットポイント付タイプ
M-360CP-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 5×10-7~1×105(Pa)
入力電圧 DC+15~30V
消費電力 3W
アナログ出力 0~10V
セットポイント 2接点出力(DC30V,1A)
インターフェース RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300m(1mm2*1
保護規格 IP40対応
使用温度範囲 5~55℃
保存温度範囲 -20~70℃(非動作時)
センサ-型名 CP-1
センサー材質(主要部) フィラメント:W、電極:Mo、ケース:SUS304
外形寸法(mm) 116×70×70(NW25)
フランジ形状 NW25、NW40、φ70ICF
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.54MB

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