クリスタルイオンゲージ M-336MX(真空計)

クリスタルイオンゲージ  M-336MX

低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつクリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュアB-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定できます。

クリスタルイオンゲージ M-336MX

特長

  1. クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせたコンビネーションゲージ
  2. 超高真空から大気圧
  3. 高精度、低真空領域において優れた再現性

用途

  • 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など

仕様

型 名 クリスタルイオンゲージ
M-336MX-SP
セットポイント付タイプ
M-336MX-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲※1 4×10-8~1×105(Pa)
入力電圧 DC+20~28V
消費電力 12W
アナログ出力 0~10V
セットポイント 2点出力
インターフェース RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン
最大ケーブル長 300m(1mm2※3
保護規格 IP40対応
使用温度範囲※2 5~50℃
保存温度範囲※2 -20~70℃(非動作時)
センサ-型名 MX-1
センサー材質(主要部) フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304
外形寸法(mm) 149×70×50(NW25)
フランジ形状 NW16、NW25、NW40、φ70ICF
保護規格 IP40
RoHS, CEマーキング 対応

※1.測定下限圧力はB-Aゲージの軟X線限界を示します。

    測定下限圧力

     ICF :10-7Pa台

     NW :10-6Pa台

※2.高温での使用及び保存は寿命低下の原因となります。

※3.M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.54MB

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