クリスタルゲージ M-320XG(真空計)

クリスタルゲージ  M-320XG

大気圧から1×10-2Paまでの広い範囲にわたって、信頼性の高い測定が出来ます。

水晶振動子の共振インピーダンスが圧力に応じて変化するという現象を利用していますので、はるかに再現性が高く、また大気圧付近での安定性の高い測定が可能です。

チャンバの大気圧ベント検出用の圧力スイッチとして、またプロセス圧力の測定などにも使用が可能です。

クリスタルゲージ M-320XG

特長

  1. 広い測定範囲
    大気圧から1×10-2Paまで、優れた再現性で測定が可能
  2. 高い安全性
    クリスタルゲージは、熱源(フィラメント)を持たない真空計
  3. コンパクト、超軽量
    コントローラ部は、手のひらサイズ、質量はわずか200g

※A-NET表示器 M‐390・M-391、M-320XG専用の表示器です。
※シングルチャンネル対応です。

用途

  • 各種真空装置のあら引き圧力の測定
  • 各種プロセスの圧力測定
  • チャンバーベント等の検出用圧力スイッチ
  • その他大気圧から10-2Pa台迄の圧力測定

仕様

型 名 M-320XG
測定球 XG-1クリスタルゲージヘッド(クリスタルゲージ専用)
測定圧力範囲 1×10-2Pa~大気圧
Gas種選択 N2、Ar、H2、Air
アナログ出力
(圧力信号)
DC 0-10V:デジットスイッチにより下記項目出力形式設定
①Log出力
②複合出力
③リニア出力 フルスケール圧力レンジ選択可能(1×101、1×102、1×103、1×104、1×105Pa)
リモートI/O INPUT ①ガス種設定 2bit信号で切換
②ゼロ点調整
③ATM設定
OUTPUT セットポイント出力2点
セットポイント 2点(フォトカプラ出力、ヒステリシス固定)
デジットスイッチにより設定(SP1、SP2共仮数部、指数部)
動作環境 5℃~50℃(コントローラー含む)
ゲージヘッドのみの耐熱温度150℃MAX
ゼロ点調整 PUSHスイッチ又は、リモートI/O入力によるソフトウェアゼロ調整
フルスケール調整 トリマーボリュームによる調整
入出力コネクタ Dsub 15P
表示 LED 3ヶ(PWR/ALM・・・緑/赤の2色発光、SP1-Status・・・緑、SP2-Status・・・緑)
所要電力 DC 22V~33V、(最大消費電力2W)
外形寸法(mm) 72.5H×102W×44.5D(ゲージヘッド含まず)
質量 200g(ゲージヘッド含まず)
センサー取り付けフランジ NW16、NW25、φ34ICF、φ70ICF等

外形寸法図

外形寸法図

A寸法

 NW16、NW25 :23

 φ34ICF    :36

 φ70ICF、VG70:30

カタログダウンロードPDF:1.84MB

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