ワイドレンジ電離真空計 M-431HG(真空計)

ワイドレンジ電離真空計  M-431HG

M-431HGは、ミニチュアゲージ専用の真空計制御電源です。

ワイドレンジ電離真空計 M-431HG CEマーキング RoHS_category9

※CEマーキング、RoHSは2021年6月30日時点の内容です。最新状況につきましてはお問合せください。


特長

  1. 外部入出力、RS-232C通信機能を標準装備
  2. 入力電圧はワイド電圧
  3. CEマーキング、RoHS(Category9)対応

用途

  • 自動化真空装置の圧力測定
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定

仕様

型 名 M-431HG
圧力表示範囲 0.01×10-7~13.2×100Pa ※1
圧力表示 デジタル、測定レンジ自動切換
セットポイント 2点標準装備(ヒステリシス付き)
D/A出力 Logまたは複合出力切換(0~10V)
アナログ出力 0~10V(APC対応出力)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUT フィラメントON/OFF、パラメータLOCK、
フィラメント切換、デガスON/OFF、レンジホールド
OUTPUT セットポイント1,2、フィラメントON/OFFステータス
デガスステータス、フィラメント1/2ステータス
通信機能 RS232C標準搭載(9600、4800、2400、1200bps)
外形寸法(mm)・質量 104W X 99H X 296D 1.2Kg
消費電力 50VA AC90~240V 50/60Hz ※2
エミッション電流 10μA、100μA、1mA(自動切換えまたは固定)
ガス出し グリッド通電加熱方式、通電タイマー3分
フィラメント切替 キー及びリモートI/O操作
フィラメント保護 13.3×100PaにてフィラメントOFF
標準構成 真空計本体(測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません)
対応 CEマーキング、RoHS (Category9)

※CEマーキング、RoHSは2021年6月30日時点の内容です。最新状況につきましてはお問合せください。


※1 測定範囲は測定球MG-2の項をご参照ください。
※2 M-431HGに付属されるACケーブルは100V仕様です。200Vでご使用される場合は別途ご相談ください。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.01MB


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