ワイドレンジ電離真空計 M-833HG(真空計)

ワイドレンジ電離真空計  M-833HG

M-833HGは、ミニチュアB-Aゲージ専用のコントロールユニットです。オプションにて、多用なゲージ、データ出力等に対応する拡張ボードが用意されています。ミニチュアB-AゲージとTCゲージ(オプション)のコンビネーション及び、ゲージの自動切替を行うオートフィラメントの搭載により、大気圧~超高真空までの高精度な真空測定を実現出来ます。高真空~超高真空装置搭載に最適です。

ワイドレンジ電離真空計 M-833HG

特長

  1. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  2. セットポイントを2点標準装備
  3. 最大4ヶのオプションボード取付け可能で機能拡張性が充実
    (注記:GP-IBオプションには未対応)
  4. RoHS、CEマーキングに対応

用途

  • 自動化真空装置の圧力計測
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定

仕様

型 名 M-833HG
測定球 ミニチュアゲージMG-2シリーズ
圧力表示範囲 0.1×10-7~9.9×100Pa
圧力表示 測定レンジ自動切換
セットポイント 2点標準装備(オープンコレクタ)
D/A出力 0~10V:仮数部出力、指数部出力
0~11V:複合出力又はLOG出力
アナログ出力
(エレクトロメータ出力)
APCモード設定時(0.1~2.5V)
ノーマルモード設定時(0.1~1.6V)
外部制御機能
(リモート操作)
INPUT フィラメントON/OFF
デガスON/OFF
等6種類の外部制御機能
OUTPUT 6種類のステータス信号出力
特殊機能 APC対応:レンジホールド機能
エレクトロメータ出力機能
寸法・質量 H99×W209×D330、1.9kg
所要電力 100~240VAC
100VA以下、50/60Hz
エミッション電流 10μA、100μA、1mA自動切換設定又は固定設定
ガス出し グリッド通電加熱方式
フィラメント切換 キー及び、リモートI/O操作
フィラメント保護 オーバーレンジ設定値又はエミッション電流±50%の変動
標準構成 真空計本体(測定球及びケーブルは構成品に含まれません)
RoHS,CEマーキング 対応

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.85MB

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