電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG(真空計)

電離真空計  M-723HG、M-823HG、M-923HG

多様なゲージに対応する豊富な拡張ボードを備えた最も一般的なB-A型電離真空計シリーズです。

真空装置のプロセスコントロールに必要な遠隔操作機能やレンジホールド機能を標準で備えています。CC-Linkで通信制御を行えるタイプも用意してあります。

M-823HGで大気圧から高真空領域までを1台で高精度にカバーします。

電離真空計 M-723HG、M-823HG、M-923HG

特長

  1. 圧力レンジは自動切換
  2. 圧力及び種々のメッセージが液晶表示
  3. 豊富な外部制御機能により完全な遠隔操作が可能
  4. セットポイントを2点標準装備

用途

  • 自動化真空装置の圧力計測
  • スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御
  • マルチチャンバシステムでの圧力測定
  • 一般真空装置の圧力測定

仕様

型 名 M-723HG M-823HG M-923HG
測定球 UGD-1S B-Aゲージ球 BRG-1BワイドレンジB-Aゲージ球 NIG-2F/NIG-2TF
ヌードイオンゲージ球
圧力測定
レンジ(Pa)
5レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6
7レンジ自動切換
10-0、10-1、10-2、10-3、10-4、10-5、10-6
8レンジ自動切換
10-2、10-3、10-4、10-5、10-6、10-7、10-8、10-9
測定レンジ切換 自動切換え(レンジホールド可)
ガス出し グリッド通電加熱方式 電子衝撃方式
フィラメント切換 前面パネルと外部制御入力により切換可(M823HGを除く)
フィラメント保護 圧力、イオン電流、エミッション電流の変動幅のいずれかに問題があると自動的にOFFする。
アナログ出力 D/A出力(仮数部D/A出力、指数部D/A出力、複合D/A出力)
アナログ生出力(エレクトロメータ出力)
I/Oリモート INPUT フィラメントON/OFF入力
デガスON/OFF入力
フィラメントインヒビット入力
レンジホールド1入力
レンジホールド2入力
フィラメント切換入力
ゲージ1/2切換入力(ゲージセレクタオプション使用時)
OUTPUT フィラメントON/OFF出力
デガスON/OFF出力
リモート/ローカル出力
セットポイント出力(2点)
ゲージ1/2セレクト出力(ゲージセレクタオプション使用時)
パワーON/OFF出力
フィラメント1/2出力
アラーム出力
セットポイント 2セットポイント標準装備(オープンコレクタ)
外形寸法(mm) H99×W209×D330
所要電力 AC100V±10%2A、50/60Hz(AC115/200/230Vにも対応可能)
質量 5.4kg
標準構成 真空計本体(測定球およびケーブルは構成品に含まれません)

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.90MB

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