ミニチュアゲージ MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF(真空計)

ミニチュアゲージ  MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF

ミニチュアゲージは金属製の小型ゲージ球です。

到達圧力からスパッタ等のプロセス圧力(1Pa台が測定可)までの圧力計測が1つのゲージで行なえます。

ゲージアダプタ(O-リング差込み式)に接続するタイプ。(φ15mm、φ18mm)

NW16・25、φ34ICF、φ70ICFタイプを揃えています。

ミニチュアゲージ MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF

仕様

形 式 MG-2 MG-2M MG-2I/
NW16,25
MG-2I/
φ34ICF,φ70ICF
MG-2F MG-2WF
ボディー材質 SUS304
測定上限圧力(注1) 13Pa 1.3×10-1(注3)Pa
測定下限圧力(注2) 10-6Pa台 10-7Pa台 1.0×10-5(注4)Pa台
感度 0.045Pa-1
フィラメント フィラメント2本内蔵
フィラメント材:イットリアコートイリジウム線
フィラメント2本内蔵
フィラメント材:タングステン
測定球容積 約12cc
所要
電力
フィラメント
グリッドデガス
2.3W
1.0W
2.5W
1.0W
デガス方式 グリッド通電
取り付け方法 φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可 φ18ゲージアダプタ NW25、NW16 φ34ICF、φ70ICF φ70ICFフランジに接続 φ15ゲージアダプタまたは各種フランジに溶接可

注1)リニアリティーの限界

注2)実用的に測定できる圧力の限界です。10-7Paの測定にはMG-2Fの使用を推奨いたします。

注3)但し、窒素やアルゴンガスのような不活性ガスでは13Paまで測定可能です。

注4)MG-2WFは、標準MG-2と比べ測定下限値が1桁高い値となります。

外形寸法図

外形寸法図

各種フランジ取り付け例

各種フランジ取り付け例

カタログダウンロードPDF:1.71MB

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