ゲージ球(真空計)

ゲージ球

シュルツゲージ LG-11S

100Pa~10-2Paの間の圧力測定用の電離真空計測定球です。

LG-11Sフィラメントにはトリアコートイリジウム線を用いておりますので、使用温度が低く、それだけ長寿命に使えます。真空装置との接続はφ15アダプタを用いるかまたはφ70ICF付のガラスアダプタへガラス封着を行ないます。

シュルツゲージ LG-11S

B-Aゲージ UGD-1S

10-2Pa台以下の圧力測定用のガラス管封入型B-A型電離真空計測定球です。

UGD-1Sはコバールガラス封止のB-Aゲージです。グリッドはタングステン線で、通電加熱でガス出しが行なえます。また、このためガス出し中でも圧力の測定が行なえます。

B-A ゲージ UGD-1S

ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

高圧側の測定範囲を広げたB-Aゲージです。ガス出し方式はUGD-1Sと同様グリッド通電方式を採用しております。フィラメントはとくに高圧測定を考慮し、トリアコートイリジウム線を採用しております。

真空装置との接続はφ15アダプタを用いるかまたはφ70ICF付のガラスアダプタへガラス封着します。

ワイドレンジB-A ゲージ BRG-1B

ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

B-A型電極をフランジに直接マウントしています。このまま装置に取付けますので、導管による誤差がなく超高真空の測定に適しております。グリッドには白金クラッドモリブデン線を用いておりますのでガスの汚染による誤差を極小にしております。

NIG-2Fはタングステンフィラメントを使用しております。また、NIG-2TFはイットリアコートフィラメントを使用して低温度化し、ガス放出を抑えて超高真空の測定を有利にしています。

ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

ピラニゲージ PG-150

大気から使用でき、φ15アダプタで取付けます。(標準耐熱温度80℃)ベーク可能タイプのピラニゲージもご用意しています(最大加熱温度200℃、ただしコネクタをはずした時)

ピラニゲージ PG-150

サーモカップルゲージ TG-550C

大気からの使用が可能で、φ15アダプタにて取付けます。(最大加熱温度150℃、ただし、コネクタをはずした時)

サーモカップルゲージ TG-550C

仕様

シュルツゲージ LG-11S/B-Aゲージ UGD-1S/ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

型 名 LG-11S UGD-1S BRG-1B
ゲージタイプ シュルツゲージ B-Aゲージ ワイドレンジB-Aゲージ
形状 ガラス管状
被測定真空室
との接続
φ15ゲージポート(Oリング)
推奨測定範囲 10-2~100Pa 10-6~0.1Pa 10-6~10Pa
標準感度 0.0038Pa-1空気に対して 0.075Pa-1N2に対して
X線限界 <10-4Pa 約1.3×10-8Pa
ベーク可能温度 400℃(ただし、Oリングシール時150℃以下)
材質 フィラメント トリアコート
イリジウム(1本)
タングステン(2本) トリアコート
イリジウム(1本)
ボディ コバールガラス(真空封止) タングステンガラス(開放)
使用可能
真空計電源
NI-10D M-722HG・NI-10D M-823HG
用途 高圧(100Pa~102Pa)
測定用ゲージ、スパッタ等
一般真空用 高圧(10Pa)まで測定可能な
B-Aゲージ、スパッタ等

ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

型  名 NIG-2F
954-7902
NIG-2TF
954-7903
ゲージタイプ ヌード型B-A
形状 ヌード型
被測定真空室
との接続
φ70ICF
推奨測定範囲 10-9~10-2Pa
標準感度 0.19Pa-1 N2に対して
X線限界 約2.7×10-9Pa
ベーク可能温度 400℃
フィラメント フィラメント材:タングステン(2本) フィラメント材:イットリアコートイリジウム(2本)
使用可能真空計電源 M-923HG・NI-10D
用途 10-9Pa台まで
超高真空装置(ベーカブル装置用)

ピラニゲージ PG-150/サーモカップルゲージ TG-550C

型名 PG-150
ゲージタイプ ピラニゲージ
形状 メタル管球
被測定真空室との接続 φ15ゲージポート(Oリング)
測定範囲 10-1~133Pa
材質 ボディ ステンレス(SUS-304)
使用可能真空計電源 MPG-011MPG-012
用途 あら引き排気時測定用
型名 TG-550C
ゲージタイプ サーモカップルゲージ
形状 メタル管球
被測定真空室との接続 φ15ゲージポート(“O”リング)
測定範囲 10-1~200Pa
材質 ボディ ステンレス(SUS-304)
使用可能真空計電源 M-012DM
M-723HG/823HG/833HG/923HG
用途 あら引き排気時測定用

外形寸法図

シュルツゲージ LG-11S/B-Aゲージ UGD-1S/ワイドレンジB-Aゲージ BRG-1B

外形寸法図

ヌードイオンゲージ NIG-2F/NIG-2TF

外形寸法図

ピラニゲージ PG-150/サーモカップルゲージ TG-550C

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:2.17MB

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