キャパシタンスゲージ M-342DG(真空計)

新製品  キャパシタンスゲージ M-342DG

キャパシタンスゲージ“M-342DG”は、圧力センサ部に新開発の小型シリコンMEMSチップを採用することで、温度、振動、気圧変動などの外部環境から受ける影響を最小限に抑え、高精度で安定した圧力測定、最小限のゼロ点調整頻度を実現した隔膜真空計です。

キャパシタンスゲージ M-342DG

特長

  1. 高精度で安定した圧力測定
    ・優れたゼロ点安定性
    ・温度依存性が低く、優れた安定性を温度調整機構なしで実現
    ・優れた対振動ノイズ性能
  2. コンパクト・低消費電力
    ・質量200g、サイズW46mm×H49mm×L106mmと軽量でコンパクト(※1)
    ・消費電力0.5W

    ※1 質量とサイズは、継ぎ手NW16仕様の場合

用途

真空中の圧力の高精度・長期間安定測定に幅広く対応

  • 半導体、ディスプレイ、太陽電池など各種真空装置
    ・スパッタリング、PECVDなどの真空成膜プロセス圧力の制御、モニタリング
    ・ロードロック室、ウエハ冷却などのガス導入プロセス、システムの圧力管理
  • 医療、バイオ、食品他各種産業、並びに各種研究開発用途
    各種コーティング、プラズマ処理、真空封止、真空炉、分析装置、滅菌、真空ポンプ評価、分子蒸留 など

仕様

型名 M-342DG
-1D -1N -11 -12 -13
フルスケール圧力(Pa)  13.33  133.3 1.333k 13.33k 133.3k
測定制度(% of reading) 0.20(at 23℃)
ゼロ点温度係数(% of F.S./℃) 0.01 0.005 0.002
スパン温度係数(% of reading/℃) 0.01 0.005
分解能(% of Full-scale) 0.01 0.005
測定下限圧力(% of Full-scale) 0.01
実用測定下限圧力(% of Full-scale) 0.05
実用制御下限圧力(% of Full-scale) 0.5
応答速度(ms) 100 30
加圧上限 200kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)
*13.33Pa仕様は130kPa
電源電圧(VDC) +13.5~26.4
消費電力(W) 0.5
アナログ出力(VDC) 0~10
使用温度/保管温度(℃) 0~50/-20~70(非動作時)
最大ケーブル長(m) 100(専用ケーブル)
ゼロ点調整方法 プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタ D-sub9ピン(オス)
接ガス部材質 SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ゙形状と質量 NW16(200g)、NW25(210g)、8-VCR メス(250g)、φ70ICF(460g)
適用規格等 CE、RoHS、IP40
安全保障貿易管理規制 非該当
対応表示器 M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:724KB

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