コールドカソードピラニゲージ M-361CP(真空計)

新製品  コールドカソードピラニゲージ  M-361CP

大気圧~中真空を測定するピラニゲージと、高真空~超高真空を測定するコールドカソードゲージを組み合わせたコンビネーションゲージです。1台で広い圧力領域を測定可能です。
1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献します。

コールドカソードピラニゲージ M-361CP

RoHS

CE

特長

  1. 優れた測定安定性
    ・ピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを低減
  2. 優れた大気圧検出を実現
    ・本器搭載のピラニゲージは、大気圧付近で安定性・再現性が高く、応答性は隔膜真空計と同等
  3. 簡易なメンテナンス
    ・コールドカソードのメンテナンスは部品交換のみ

用途

超高真空~大気圧まで、各種真空測定に幅広く対応
(例)
エレクトロニクス・光学:蒸着、コーティング、電子ビームマスク描画、スパッタリング、イオン注入、MBE
分析:電子顕微鏡、SIMS、AES、XPS他、各種表面/ガス/質量分析
各種工業:アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接、冶金、分子蒸留、ガス充填
高エネルギー物理:加速器、サイクロトロン

仕様

型 名 コールドカソードピラニゲージ
M-361CP-SP
セットポイント付タイプ
M-361CP-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 1×10-7~1×105(Pa)
入力電圧 DC+15~30V
消費電力 2.4W
アナログ出力 0~10V
セットポイント 2接点出力(DC30V,1A)
インターフェース RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン ※変換コネクターあり
最大ケーブル長 300m(1mm2*1
使用温度範囲 5~55℃
保存温度範囲 -20~70℃(非動作時)
センサ-型名 CP2
センサー材質(主要部) フィラメント:W、電極:Mo、絶縁石:Al2O2、ケース:SUS304
外形寸法(mm) 50(W)×50(D)×110(L)(継ぎ手 NW25仕様)
フランジ形状 NW25、NW40、φ70ICF
保護法令等 RoHS、CEマーキング、IP40

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

外形寸法図

外形寸法図

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