コールドカソードゲージ M-370CG(真空計)

コールドカソードゲージ  M-370CG

熱フィラメントを使用しておらず堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)です。
高真空から超高真空まで安定した圧力測定を実現します。

コールドカソードピラニゲージ M-361CP CEマーキング RoHS_category9

特長

  1. 優れた測定安定性
    未放電による測定停止、圧力表示値のフラツキを削減
  2. 高真空下での良好な機動性
    未放電、放電遅れを解消
  3. 簡易なメンテナンス
    ・メンテナンスは部品交換のみ

※水素や酸素といった活性ガスの分圧が高い環境や、これらのガスを大量に使用する環境では、CCゲージの放電開始が著しく遅れる場合があります。そのような環境でご使用になる場合は、弊社にご相談ください。

用途

1Pa~超高真空まで、各種真空測定に幅広く対応
・蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE
・SEM、SIMS、AES、XPS、各種表面/ガス/質量分析
・アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接
・加速器、サイクロトロン

仕様

型 名 コールドカソードゲージ
M-370CG-SP
セットポイント付タイプ
M-370CG-RS
RS485タイプ
圧力測定範囲 1×10-7~1×100(Pa)
入力電圧 DC+15~30V
消費電力 2.4W
アナログ出力 0~10V
セットポイント 2接点出力(DC30V,1A)
インターフェース RS485
入出力コネクタ D‐sub9ピン ※変換コネクターあり
最大ケーブル長 300m(1mm2*1
使用温度範囲 5~55℃
保存温度範囲 -20~70℃(非動作時)
センサ-型名 CC1
センサー材質(主要部) 電極:Mo、絶縁石:Al2O2、ケース:SUS304
外形寸法(mm) 50(W)×50(D)×110(L)(継ぎ手 NW25仕様)
フランジ形状 NW25、NW40、φ70ICF
対応 CEマーキング、RoHS (Category9)、IP40

*1)M-601/603GC表示器を接続する場合はゲージケーブルの最大長は100mとなります。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.07MB

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