超高真空L型オールメタルバルブ(真空バルブ)

超高真空L型オールメタルバルブ

本バルブは10-8Pa以下まで使用できる、全金属製の超高真空L型バルブです。400℃または450℃までベークアウトができ、ハードベークを伴う超高真空装置用バルブとして適しています。

超高真空L型オールメタルバルブ

特長

  1. 超高真空領域用
    10-8Pa以下の超高真空領域まで使用できる全金属製バルブ
  2. Capturingシール構造
    弁封止構造はICFフランジ同様の信頼性の高いCapturingシール構造を採用
  3. 優れた許容加熱性
    400℃または450℃までのベークアウトが可能
  4. 容易なガスケット交換

仕様

超高真空L型オールメタルバルブ(型番:951-7148)

型名 951-7148
使用真空領域 大気圧~10-8Pa以下
リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下
全開時コンダクタンス 4L/sec
許容加熱温度 400℃
初期封止トルク 約15.7N・m
最大封止トルク 23.5N・m
主要部材質 ボディ:SUS-304
ベローズ:SUS-304
弁封止用ガスケット:銅合金
ボンネットガスケット:SUS-321銀メッキメタル
中空“O”リング
接続フランジ φ34ICFフランジ
質量 0.7kg
外形寸法 外形寸法図参照
適用トルクレンチ
(オプション)
460F(角ドライブ寸法9.53mm)
(JIS B4650プレート形呼び450相当)
添付品 ガスケット取外し治具:1S
ハンドル:1個
呼び2.5六角棒スパナ:1本
呼び4六角棒スパナ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大、小各1個 計2個
予備ガスケット:1個

超高真空L型オールメタルバルブ(型番:951-7150/951-7152)

型名 951-7150 951-7152
使用真空領域 大気圧~10-8Pa以下
リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下
全開時コンダクタンス 30L/sec 100L/sec
※許容加熱温度 450℃
初期封止トルク 29.4~34.3N・m 78.4~127.4N・m
最大封止トルク 127.4N・m 225.4N・m
主要部材質 ボディ:SUS-304
ベローズ:SUS-304
弁封止用ガスケット:銅合金
接続フランジ φ70ICFフランジ φ114ICFフランジ
質量 1.6kg 7kg
外形寸法 外形寸法図参照
適用トルクレンチ 1300F(角ドライブ寸法12.7mm)
(JIS B4650プレート形呼び1300相当)
2800F(角ドライブ寸法19.05mm)
(JIS B4650プレート形呼び2800相当)
添付品 ハンドル:1個
呼び2.5六角棒スパナ:1本
呼び6六角棒スパナ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大、小各1個 計2個
予備ガスケット:1個
ハンドル:1個
呼び10六角棒スパナ:1本
BSボールポイントドライバ:1本
ワイヤブラシ:1個
予備ワッシャ:大、小各1個 計2個
予備ガスケット:1個

外形寸法図

超高真空L型オールメタルバルブ(型番:951-7148)

外形寸法図

超高真空L型オールメタルバルブ(型番:951-7150)

外形寸法図

超高真空L型オールメタルバルブ(型番:951-7152)

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.05MB

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