Vシリーズ 粗引きバルブ V-025RV(真空バルブ)

「Vシリーズ」あら引きバルブ  V-025RV

本バルブは、10-4Pa程度の高真空領域まで使用できるL型バルブです。真空シールおよび軸シールにふっ素ゴム(バイトン)Oリングを使用したバルブです。高真空装置用バルブとして、また超高真空装置のあら引きバルブとして最適です。

「Vシリーズ」あら引きバルブ V-025RV

特長

  1. 高真空領域まで使用可能
    10-4Pa程度の高真空領域までご使用可能(軸シール部のみ、ふっ素グリースを使用)
  2. 開閉ポジションセンサスイッチ
    圧空駆動式バルブに使用しているエアーシリンダは、開閉用のポジションセンサスイッチを装備

仕様

駆動方式 圧空 手動
型名 V-025RV-CN V-025RV-MN
使用圧力領域 大気圧~10-4Pa程度
Heリーク
※1
静止時 6.7×10-11Pa・m3/sec以下
開閉時 ~10-5Pa・m3/sec
コンダクタンス 7L/sec
許容加熱温度 60℃
主要部
材質
本体 SUS-304
駆動部 AL合金(エアーシリンダ) ナイロン66,ポリプロピレン(ハンドル)
真空
シール材
ふっ素ゴム(バイトン)Oリング(メインシール部,軸シール部,ボンネットシール部)
軸シール部潤滑剤:パーフロロポリエーテルグリース
作動エアー圧 0.4~0.6MPa
エアー消費量
(L/サイクル)※2
0.024
エアー供給口 M5
開閉センサ ■センサスイッチ仕様参照
使用流体 大気またはガス(腐食性ガスを除く)
外形寸法 外形寸法図参照
質量 0.63kg 0.58kg
接続フランジ※3 NW25フランジ

※1. ふっ素ゴム(バイトン)Oリングのガス透過は仕様外。

※2. エアー圧0.5MPa時1サイクル(開閉)でのエアー消費量です。

※3. NW25フランジはエラストマーガスケット(主にふっ素ゴム)を使用する真空装置用クランプフランジです。詳細については弊社Vacuum Components配管部品カタログのクイックカップリングをご参照下さい。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.11MB

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