超高真空バリアブルリークバルブ(真空バルブ)

超高真空バリアブルリークバルブ

本バリアブルリークバルブは、導入ガス流量の調節を必要とする真空装置に使用するもので、調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下ときわめて微少流量領域からのガス導入が可能です。

また、全金属製で450℃までのベーキングが可能ですので、超高真空装置用に適しています。

超高真空バリアブルリークバルブ

特長

  1. 熱と外部衝撃に強いシール部
    シール部はWC系超硬合金と銅合金を組み合わせてシールしておりますのでサファイアと銅合金を組み合わせてシールするのと異なり、熱的・機械的影響から生じる割れはありません
  2. 微少ガス流量を安定調節
    調節可能最少リーク量が6.7×10-9Pa・m3/sec以下(Heガス導入、1次側ゲージ圧力0.2MPa時)と、きわめて微少ガス流量の導入が可能
  3. 優れた許容加熱性
    全金属製で450℃までのベーキングが可能
  4. 広範囲ガス流量の調節が可能
  5. 超高真空接続可能

用途

  • 導入ガス流量の調節を必要とする真空装置
  • スパッタ装置、ガス分析装置
  • 物理学実験・研究用装置等

仕様

使用真空領域 大気圧~10-8Pa程度
調節可能最少リーク量※1 6.7×10-9Pa・m3/sec以下
バルブ全閉時リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下
許容加熱温度※2 450℃(開閉いずれも可)
ガスケットの寿命 約300回シール(室温使用時)
約30回シール(ベーキングを伴う場合)
(ガスケット交換可能)
構成部品材料 本体:SUS-304
シール部:WC系超硬合金
ガスケット:Cu合金
接続フランジ ガスOUTLET側 φ70ICF固定フランジ
ガスINLET側 φ8×φ6SUS-304管(951-7170)
φ34ICF固定フランジ付(951-7172)
添付品 951-9160ガスケット2個
951-9160リング2個
951-9160スパナ1本
呼び5六角棒スパナ1本
呼び8六角棒スパナ1本
質量 1.3kg

※1. 圧力0.2MPaのHeガスをガス導入側に接続しφ70ICF側を真空に排気している状態での値です。

※2. ガス導入側およびφ70ICF側を真空またはArガス等の不活性ガスで置換させた状態での値です。

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.13MB

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