インレットバルブ(真空バルブ)

インレットバルブ

951-7179 インレットバルブ(接続フランジ:Φ70ICF)/
951-7180 インレットバルブ(接続フランジ:NW25)

真空装置内に特定ガスを導入するためのリークバルブで、軸シールはオーステナイト系ステンレス鋼製ベローズを、真空シールはふっ素ゴム(バイトン)を使用しています。

高真空、超高真空装置をリークさせる際のガス導入用バルブとして適しています。

インレットバルブ

特長

  1. 超高真空領域用
    10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能
  2. 大気混入なし
    軸シールにベローズを使用していますので、ガス導入時大気の混入する心配がありません
  3. 優れた許容加熱性
    150℃までのベークアウトが可能

仕様

型名 951-7179、951-7180
使用真空領域 大気圧~10-7Pa程度
バルブ全閉時リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下※1
オリフィス径 φ8.5mm
許容加熱温度※2 バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃
主要部材質 真空シール材:ふっ素ゴム(バイトン)※3
バルブボディ:SUS304
ベローズ:SUS304
Lハンドル:フェノール樹脂
接続フランジφ70ICF、NW25フランジ
接続フランジ φ70ICF、NW25フランジ
質量 0.5kg
外形寸法 外形寸法図参照

※1. ふっ素ゴム(バイトン)のガス透過は仕様外。

※2. ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。

※3. メインシールおよびボンネットシール部。

外形寸法図

外形寸法図

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:0.96MB

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