リークバルブ(真空バルブ)

リークバルブ

951-7177 リークバルブ(接続フランジ:Φ70ICF)/
951-7178 リークバルブ(接続フランジ:NW25)

真空装置内に大気または特定ガスを導入するためのリークバルブで、真空シールおよび軸シールにはふっ素ゴム(バイトン)を使用しています。(951-7177・7178)

真空シールにはふっ素ゴム(バイトン)“O”リングを使用しています。(951-7190・7192)

高真空、超高真空装置をリークさせる際の大気または特定ガス導入用バルブとして適しています。

リークバルブ
リークバルブ

特長

  1. 超高真空領域用
    10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能
  2. 優れた許容加熱性
    125℃までのベークアウト可能
  3. 特定ガス導入可能(“O”リングシールタイプは除く)

仕様

型名 951-7177、951-7178 951-7190、951-7192
使用真空領域 大気圧~10-7Pa程度
バルブ全閉時リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下※1
オリフィス径 φ3.5mm φ10mm
許容加熱温度※2 125℃※2
主要部材質 真空シール材:ふっ素ゴム(バイトン)
軸シール材:ふっ素ゴム(バイトン)“O”リング
軸シール潤滑材:高真空用シリコーングリース
バルブボディ軸:SUS304
弁体:黄銅(Niメッキ)
ハンドル:フェノール樹脂
真空シール材:ふっ素ゴム
(バイトン)“O”リング
バルブボディ:SUS304
弁体:SS34(Niメッキ)
接続フランジ φ70ICF、NW25フランジ
質量 0.4kg 0.5kg
外形寸法 外形寸法図参照

※1. ふっ素ゴム(バイトン)のガス透過は仕様外。

※2. ベーキングはハンドルを取り外してから行ってください。

外形寸法図

リークバルブ(型番:951-7177)

外形寸法図

リークバルブ(型番:951-7178)

外形寸法図

リークバルブ(型番:951-7190)

外形寸法図

リークバルブ(型番:951-7192)

外形寸法図

カタログダウンロードPDF:1.02MB

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