超高真空ゲートバルブ MSB シリーズ(真空バルブ)

超高真空ゲートバルブ  MSB シリーズ

150℃(バルブ開時)までベーキング可能な、オーステナイト系ステンレス鋼製ゲートバルブで、オイルフリーの雰囲気を乱すことなく、10 -8Pa 程度の超高真空領域までご使用になれます。

1.5″~8″サイズまでは、手動タイプと自動タイプを10″、12″サイズは自動タイプを用意しております。

超高真空ゲートバルブ MSB シリーズ

特長

  1. メタルボンネットシール
    ベローズ軸シールとともに、ボディおよび内部機構の接合には真空ブレージングを採用しており、ボンネットシール部のガスケットにはメタル中空“O”リングを使用しておりますので、ガス放出等 が少なく10-8Pa 程度の超高真空領域まで使用可能
  2. 閉ロック機構
    閉ロック機構を採用していますので、バルブ全閉時(自動タイプ)停電等によりエア供給が遮断された場合でも閉状態を保持
  3. 逆圧可能
  4. ポジションインディケータ
    自動タイプには、ポジションインディケータが標準装備

用途

  • 排気系のメインバルブ
  • サンプル等導入用エアロックバルブ
  • イオンビーム光線等の導入用
  • その他、真空の保持が必要な移送ライン等

仕様

  手動タイプ 自動タイプ
駆動方式 手動駆動 空圧による自動駆動
使用真空領域 大気圧~10-8Pa程度
リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下※1
許容加熱温度 バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃※2、3
許容最大差圧 バルブ静止時:±1気圧、バルブ動作時:±133Pa
寿命 ベローズ:10,000サイクル、メンテナンスタイム:5,000サイクルまたは1年
使用材質 シール材:メインシール……ふっ素ゴム(バイトン)“O”リング
ボンネットシール…… SUS321銀メッキメタル中空“O”リング
本体:SUS304
ベローズ:SUS304溶接ベローズ
接続フランジ ICFフランジ
動作エア圧範囲 1.5″~4 ″ 0.3~0.5MPa、6″~12″ 0.4~0.5MPa
電磁弁 種類 4方口電磁弁(AC200V 50/60Hz)※4
接続口 Rc1/4(旧PT1/4)
ポジションインディケータ※5 オプション:バルブ開閉信号取り出し用 標準装備:バルブ開閉信号取り出し用

※1. ふっ素ゴム(バイトン)“O”リングのガス透過は仕様外。

※2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ・電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は50℃。

※3. バルブ開時、加熱時間が6時間以内であれば200℃まで可能。

※4. AC100V 50/60Hz またはDC24Vを希望される場合は、ご注文時にその旨ご指定ください。

※5. リレー接点出力・接点容量は、ポジションインディケータの項を参照。

質量

バルブの呼び径 手動タイプ 自動タイプ
1.5″ 3 kg 3.5kg
2.5″ 7.9kg 8.4kg
4″ 12.6kg 13 kg
6″ 19.8kg 20.6kg
8″ 30.8kg 31.8kg
10″ 54 kg
12″ 74 kg

外形寸法図

外形寸法図

型式 呼び径 バルブ寸法
A B C D E F G H I J K L M N
951-7723
951-7728
1.5″ 138 103 51.4 62 105 105 108 18 70 φ 51 φ 53 48.5 103
951-7733
951-7738
2.5″ 216 159 71 78 206 156 156 27 114 φ 64 φ 64 47.5 103
951-7743
951-7748
4″ 284 208 78 80 225 180.5 190 39 148 φ74 φ74 46.5 103 70
951-7753
951-7758
6″ 380 278 90 88 225 184 246 67 204 φ74 φ90 41.5 103 84
951-7763
951-7768
8″ 485 358 100 92 258 224.5 296 83 254 φ86 φ100 44.5 103 100
951-7778 10″ 601 443 116 102 227 358 113 316 φ110 44 103 100
951-7788 12″ 700 518 127 114 241 414 138 370 φ137 40.5 103 110
カタログダウンロードPDF:1.40MB

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