超高真空ゲートバルブ STD シリーズ(真空バルブ)

超高真空ゲートバルブ  STD シリーズ

150℃(バルブ開時)までベーキング可能な、オーステナイト系ステンレス鋼製ゲートバルブで10-7Pa程度の超高真空領域までご使用になれます。

1.5″~8″サイズまでは、手動タイプと自動タイプを10″、12″サイズは自動タイプを用意しておりますので用途に応じてお選びください。

超高真空ゲートバルブ STD シリーズ
超高真空ゲートバルブ STD シリーズ

特長

  1. 真空ブレージング
    ベローズ軸シールとともに、ボディおよび内部機構の接合には真空ブレージングを採用していますので、ガス放出が少なく10-7Pa程度の超高真空領域まで使用可能
  2. 閉ロック機構
    閉ロック機構を採用していますので、バルブ全閉時(自動タイプ)停電等によりエア供給が遮断された場合でも閉状態を保持
  3. 逆圧可能
  4. ポジションインディケータ
    自動タイプには、ポジションインディケータが標準装備

用途

  • 排気系のメインバルブ
  • サンプル等導入用エアロックバルブ
  • イオンビーム光線等の導入用
  • その他、真空の保持が必要な移送ライン等

仕様

  手動タイプ 自動タイプ
駆動方式 手動駆動 空圧による自動駆動
使用真空領域 大気圧~10-7Pa程度
リーク量 6.7×10-11Pa・m3/sec以下※1
許容加熱温度 バルブ開時150℃、バルブ閉時125℃※2
許容最大差圧 バルブ静止時:±1気圧、バルブ動作時:±133Pa
寿命 ベローズ:10,000サイクル、メンテナンスタイム:5,000サイクルまたは1年
使用材質 シール材:ふっ素ゴム(バイトン)“O”リング(メインシール、ボンネットシール、ベローズシール)
本 体:SUS304
ベローズ:SUS304溶接ベローズ
接続フランジ ICFフランジ、JISフランジ
動作エア圧範囲 1.5″~4″0.3~0.5MPa、6″~12″0.4~0.5MPa
電磁弁 種類 4方口電磁弁(AC200V 50/60Hz)※3
接続口 Rc1/4(旧PT1/4)
ポジションインディケータ※4 オプション:バルブ開閉信号取り出し用 標準装備:バルブ開閉信号取り出し用

※1. ふっ素ゴム(バイトン)“O”リングのガス透過は仕様外。

※2. 自動ゲートバルブのアクチュエータ・ポジションインディケータ・電磁弁は加熱不可で許容周囲温度は50℃。

※3. AC100V 50/60HzまたはDC24Vを希望される場合は、ご注文時にその旨ご指定ください。

※4. リレー接点出力・接点容量は、ポジションインディケータの項を参照。

質量

バルブの呼び径 手動タイプ 自動タイプ
ICFフランジ付 JISフランジ付 ICFフランジ付 JISフランジ付
1.5″ 2.3kg 3.0kg 2.8kg 3.5kg
2.5″ 6.4kg 6.6kg 6.9kg 7.1kg
4″ 10.3kg 10.8kg 10.7kg 11.2kg
6″ 17.8kg 18.3kg 18.6kg 19.1kg
8″ 28.6kg 31.8kg 29.6kg 32.8kg
10″ 50kg 52kg
12″ 70kg 72kg

外形寸法図

外形寸法図

型式 呼び径 バルブ寸法
A B C D E F G H I J K L M N
951-7720
951-7725
1.5″ 138 103 51.4 51 105 105 96 18 70 φ51 φ53 48.5 103
951-7730
951-7735
2.5″ 216 159 71 64 206 156 114 27 114 φ64 φ64 47.5 103
951-7740
951-7745
4″ 284 208 78 74 225 180.5 182 39 148 φ74 φ74 46.5 103 70
951-7750
951-7755
6″ 380 278 90 82 225 184 240 67 204 φ74 φ90 41.5 103 84
951-7760
951-7765
8″ 485 358 100 86 258 224.5 295 83 254 φ86 φ100 44.5 103 100
951-7775 10″ 601 443 116 97 227 354 113 316 φ110 44 103 100
951-7785 12″ 700 518 127 107 241 407 138 370 φ137 40.5 103 110
カタログダウンロードPDF:1.26MB

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